直交ロボットの製品一覧

  • 分類:直交ロボット

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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

  • センサ

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直径30mm程度から8インチ、高ライフタイム、1万オームを超えるような高抵抗も対応可能!薄化、チップ加工もアレンジいたします!

  • その他半導体
  • 加工受託
  • ウエハー

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顕微鏡の試料位置決めをナノ精度で実現するPIMars XYZナノステージ

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • 直交ロボット

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エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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エアベアリング×リニアモータによる非接触駆動。基板・部品検査の高速化と安定化に貢献

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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微細工程の精度を支える、半導体向け高安定リニアステージ

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  • 直交ロボット

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実装精度を、ラインの安定力に。電子機器製造を支える単軸リニアモーターステージ

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  • 直交ロボット

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検査精度を、装置の“直線性能”から引き上げる単軸リニアモーターステージ。

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造形精度と再現性を支える、HIWINの高精度直線ステージ

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  • 直交ロボット

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実験の精度と効率を高める、HIWIN 単軸リニアモーターステージ

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  • 直交ロボット

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摩擦ゼロ、高精度位置決め。FPD検査工程の品質向上に貢献。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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レーザー切断の精度を向上。±0.2 µmの高精度位置決めを実現。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
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摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー

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