搬送・ハンドリングロボットの製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

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• その他産業用ロボット