搬送・ハンドリングロボットの製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

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• その他産業用ロボット

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

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• その他産業用ロボット

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

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• その他産業用ロボット

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

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