搬送・ハンドリングロボットの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

「プレス・ロボットシステムのエヌテック」として日々、励んでおります。

• 鍛圧機械
• その他産業用ロボット
• 搬送・ハンドリングロボット

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット