搬送・ハンドリングロボットの製品一覧

  • 分類:搬送・ハンドリングロボット

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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微細加工などに好適!従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現!

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  • その他工作機械

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【2021年10月20日(水)~23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します!

当社は、2021年10月20日(水)~23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8mmからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。(コマ番号:2B12​)

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット

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液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

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Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

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装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

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