搬送・ハンドリングロボットの製品一覧

設計から製造、メンテナンスまで一貫対応いたします！

• 製造受託

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小型・軽量・省電力。カスタマイズ性。利便性を追及したモデル

• 搬送・ハンドリングロボット

製品の調整用つまみを掴みＸＺ軸ガイドにて微調整します。

• 製造受託
• 搬送・ハンドリングロボット
• 組立治具

複雑な積み込みパターンから基本パターンまで全てに対応なパレタイズシステム

• 搬送・ハンドリングロボット

【高速・正確な搬送システム】大型～微細ワークまで取扱い可能な搬送システム

• 搬送・ハンドリングロボット

【パラレルリンクロボット起用】高精度のハンドリングシステムを提供します

• 搬送・ハンドリングロボット

全高が低く軽量、ボディ中心に大きな中空穴を持つ大型の三爪平行チャック

• 搬送・ハンドリングロボット

いい「モノ」といい関係。全体最適モノづくりシステムを提案し続けます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他搬送機械
• その他ネットワークツール

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 搬送・ハンドリングロボット

搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください。

• 搬送・ハンドリングロボット
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

安く、使い易い、耐久性のある、ユーザーに信頼性の高い製品作りを目指す

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• その他搬送機械

軽量と強度の融合　精度の極み

• 搬送・ハンドリングロボット
• 食品加工装置
• その他機械要素