プラズマ表面処理装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたＳｉＣ（シリコンカーバイド）膜をＰＶＤで形成。新型イオンプレーティング法で厚膜（７μｍ）形成

• その他工作機械
• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧プラズマ装置

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の用途などに好適

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロードロックタイプぷで高温成膜でもハイスループット。

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のＣｔｏＣタイプスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他実装機械

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。

• その他加工機械
• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ランキング形式でご紹介。コスト削減、ECOに貢献し悩みを解決

• その他照明器具
• プラズマ表面処理装置
• エンジニアリングプラスチック

A4サイズ試作無料！樹脂フィルムだけでなくアルミ・銅など金属箔の処理も可

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのＰＶＤ膜＋ハイレートＤＬＣ。硬度＋トライボロジー薄膜

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• その他工作機械