プラズマ表面処理装置の製品一覧

フレコンバッグやドラム缶など粉体容器の設置・後処理の負担軽減！異物混入も防ぎ、省人化も実現

• 粉体搬送装置
• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

熱ダメージを受けやすい材料への処理など！『AP-4000R ECO・AP-4000R ECO Multi』の用途をご紹介

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置

3Dパーツの輪郭部分だけの処理などに！『AP-4000・AP-4000 Multi』の用途をご紹介します

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置

3D形状のものや塗装の前処理など！『AP-4000 ECO・AP-4000 ECO Multi』の用途をご紹介

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置

【オートモーティブワールド2020出展】低コスト！シンプルで経済的な大気圧プラズマ装置、エアープラズマECOシリーズ

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

いくつものプラズマ技術を1つの装置に搭載可能！

• プラズマ表面処理装置

大気圧プラズマ装置を活用したヘッドランプハウジングの表面改質についてご紹介します。

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ　眞空プラズマの高い効果を量産ラインに

• プラズマ表面処理装置
• エッチング装置
• アッシング装置

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性ガスとカーボンターゲットのシンプルプロセスで安定成膜

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプレーティング装置）だから可能な小型部品対応の端面電極成膜。

• 蒸着装置
• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械

ダメージフリー＆低温＆マルチガス！好適なプラズマを作り出せます

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス
• 製造受託

幅広い表面を均一に処理が必要なパーツに好適なノズルです

• ノズル
• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

超強力な異種材料接合について詳しく解説します

• プラズマ表面処理装置
• 射出成形機

Openair-Plasmaによる完璧な品質自動化そしてコスト管理！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置
• 印刷機械

ゴムの弾性特性を維持しつつ低摩擦化が可能！グリップ起因の搬送時のシワ発生の防止に効果を発揮

• ローラー
• プラズマ表面処理装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたＳｉＣ（シリコンカーバイド）膜をＰＶＤで形成。新型イオンプレーティング法で厚膜（７μｍ）形成

• その他工作機械
• その他加工機械
• プラズマ表面処理装置

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧プラズマ装置

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の用途などに好適

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロードロックタイプぷで高温成膜でもハイスループット。

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のＣｔｏＣタイプスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他実装機械

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。

• その他加工機械
• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ランキング形式でご紹介。コスト削減、ECOに貢献し悩みを解決

• その他照明器具
• プラズマ表面処理装置
• エンジニアリングプラスチック

A4サイズ試作無料！樹脂フィルムだけでなくアルミ・銅など金属箔の処理も可

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのＰＶＤ膜＋ハイレートＤＬＣ。硬度＋トライボロジー薄膜

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• その他工作機械

大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能！【サンプルテスト受付中！】

• プラズマ表面処理装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• 蒸着装置

スピーディーで均一！スパークレスでダメージフリーな大気圧プラズマシステム

• プラズマ表面処理装置
• その他

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

【聴講料】1名につき45,150円★10月4日までに初めてのお申込様は早期割引価格⇒39,900円

• プラズマ表面処理装置
• プラスチック
• 技術セミナー

『超撥水・超親水化技術のメカニズムとコーティング剤による表面改質技術および撥水性評価』

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• 技術セミナー
• タッチパネル

NIST公開の原子スペクトルのデータを簡単にダウンロード、検索、一覧表示、ファイル出力します。

• 分光分析装置
• その他理化学機器
• プラズマ表面処理装置

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空インラインシステム。豊富なオプションと柔軟な対応で要求に対応

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

• プラズマ表面処理装置

フッ素樹脂をはじめとする難接着材料への直接めっきや異種材料の接着剤レス直接接合、各種粉体の表面改質が可能！※SURTECHに出展

• プラズマ表面処理装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備しています！

• その他理化学機器
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

【オートモーティブワールド2020出展】電子部品への大気圧プラズマによる表面処理についてご紹介しています！

• プラズマ表面処理装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中

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