その他検査機器・装置の製品一覧

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• オシロスコープ

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット

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従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！

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下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボット

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全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

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板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット

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ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボット

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モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット

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高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット

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第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット

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高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット

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低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用

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稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボット

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極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アライナー

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2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライナー

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• その他搬送機械

ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置

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