その他検査機器・装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

検査装置をはじめ、接合材料やウエハー工程装置などを多数掲載！

• その他検査機器・装置
• その他洗浄機
• ウエハ加工/研磨装置

TEM付属標準グリッドホルダーで観察可能！材料系・化学系・バイオ系の研究に。

• その他検査機器・装置

クランプハンド用制御ラインを装備！ロボット＋スライダシステム

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！

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下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボット

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全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

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板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット

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ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボット

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モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット

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高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット

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第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット

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高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット

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低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用

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