その他顕微鏡・マイクロスコープの製品一覧

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• その他安全・衛生用品

真空中で使える　5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ

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真空中で使える　5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

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真空中で使える　リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステージ

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【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位置決めステージ

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【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！

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サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～400mmストロークのステージ

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10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのステージ

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5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー

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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm

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【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ

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50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向上に！

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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

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50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm　真空チャンバー内で使用できるステージ

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真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm分解能で位置決め　可動範囲最大100mm

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