受託解析の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

微小領域を狙った測定が可能

受託解析

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技術情報「有機多層膜のラマン3Dマッピング」ほか3件を公開

MSTホームページにて、下記分析事例3件を公開しました。・有機多層膜のラマン3Dマッピング・ウエハ表面の金属・有機物汚染評価・Ramanによる金属部材上の異物分析詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/

【分析事例】μm(ミクロン)オーダーのXPS深さ方向分析

数μmの深さまで深さ方向分析を行います

受託解析
製造受託

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【分析事例】C-SAMによる貼り合せウエハ内部の空隙調査

デバイス内部の構造を複合的に評価します

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その他電子部品

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【分析事例】X線CT・GC/MSガラス繊維強化プラスチックの評価

目的に応じGFRPの評価が可能です

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受託測定

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【分析事例】分子動力学計算による機械的特性評価シミュレーション

環境変化（圧力・温度）に対するナノ材料の変形挙動の解析が可能です

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［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

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受託測定
受託検査

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【分析事例】プリント基板上有機物系異物の分析（C0080）

適切なサンプリングで異物周辺情報の影響を軽減

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【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

FFTM法による格子像解析

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【分析事例】ZnO膜表面の形状観察

広域の表面形状観察が可能

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【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定

X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です

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【分析事例】SIMSによるSiON膜の評価

膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

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【分析事例】SSDP-SIMSゲートから基板へのB突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

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【分析事例】SIMSによる極浅注入プロファイルの評価

極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能

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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価

波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価

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よくあるご質問（FAQ）　ご発注について

ご発注について、よくお問い合わせいただくご質問を、FAQ形式でまとめました。

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【分析事例】プリント基板上有機物系異物の分析（C0084）

適切なサンプリングと顕微測定で異物周辺情報の影響を軽減

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【分析事例】SIMSによるUVセンサAlGaN中不純物濃度度評価

様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ

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【分析事例】TOF-SIMSによるキトサンの分布評価

TOF-SIMSによる医薬品成分の可視化

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【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査

TOF-SIMSによる高分子・樹脂･フィルムの表面改質層の最表面の評価が可能

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【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量

赤外吸収法により非破壊で格子間酸素・炭素濃度を定量

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【分析事例】CIGS粉体の組成・不純物分析

主成分および微量成分の定量分析が可能

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【分析事例】白色LEDのフォトルミネッセンス分析

白色LED中のチップ、蛍光体の発光特性の確認

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【分析事例】プラスチック容器の表面金属汚染評価

XRFによる高分子材料中不純物の組成・分布評価

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【分析事例】クレンジングオイルの洗浄効果評価

TOF-SIMSによる洗浄残渣の測定事例

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【分析事例】SIMSによるSiC中ドーパント元素の深さ方向分析1

SiC中B、Al、N、P、Asについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能

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【分析事例】SIMSによるSiCパワーMOSFETドーパント評価

イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能

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【分析事例】SIMSによるSiC

イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能です

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【分析事例】食品用の耐熱用PETボトルの積層構造分析

TOF-SIMSを用いてPETボトルの層ごとの成分を特定可能

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【分析事例】リチウムイオン二次電池　セパレータの評価

サンプルを冷却しセパレータの形状をより正確に評価

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【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

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【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

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【分析事例】SUS不動態皮膜深さ方向状態と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

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【分析事例】SIMSによるNPT-IGBT中ドーパント調査

イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能

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【分析事例】パワーデバイスのドーパント・キャリア濃度分布の評価

複合解析で活性化率に関する評価が可能

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【分析事例】300mmウェハ最表面の異物の評価

異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

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【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価

膜厚・密度・結合状態を評価

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【分析事例】SIMSによるGaN系LED構造の組成分析

GaN系LEDの主成分元素の組成を深さ方向に評価可能

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【分析事例】GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析

裏面側からGaN系LED構造中の不純物プロファイルを取得可能

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【分析事例】はんだ合金中の添加物面内分布評価

ppmレベルの添加物の分布を高感度に評価可能

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【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析

化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能

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【分析事例】食品中有害成分の濃度分析

乳幼児用粉ミルク中メラミンの濃度評価

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【分析事例】SAXSによる乳化剤の液晶構造・ミセルサイズ評価

ナノオーダーの構造解析・ナノ粒子サイズの評価が可能

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【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可能

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環境中微量金属元素分析