チラーの製品一覧
- 分類：チラー
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１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。
- センサ
直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！
- その他半導体
- 加工受託
- ウエハー
プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201/1801』
『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
- チラー
装置に組み込めるコンパクト設計でありながら160W～600W冷却能力と強力なポンプを内蔵したノンフロンペルチェチラー
- チラー
小型で軽量、低騒音、低振動、コンパクトな『ノンフロンペルチェチラー』
当製品は、信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が 開発した、独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常に コンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。 フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための 点検作業が不要です。また機械的部品をほとんど使用しておりませんので、振動や騒音も 少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも好適です。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
消費電力大幅削減ペルチェチラー『TCubeEdge』
冷却能力最大290Wの『TCubeEdge』は優れた温度信頼性で機器のパフォーマンスを 最適化し、高い採算性をもたらします。 循環水の温度変化に素早く応答し、0℃～65℃の温度コントロールにおいて 室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現。 スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、 光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応可能です。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack1801』
『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
