チラーの製品一覧
- 分類：チラー
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきを改善。 主要エッチャーメーカーの製品に対応。 温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
フロン対策はお済みですか？ペルチェチラー『ThermoCube』
冷却能力200W、300W、400W、600Wの『ThermoCube』は、ささやきのような静粛性・ 低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に 対応のユニバーサル電源を搭載。 オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。 フロンガス不使用で環境に配慮したチラーです。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
- チラー
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
- チラー
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
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