半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

昭和48年から約50年間愛用いただいているベルト研磨機。信頼と実績に加えラインアップも充実。

• その他工作機械

非接触ロボットハンド

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置
• その他機械要素

アモルファス太陽電池搬送装置

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• その他機械要素

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　PDC-001 / プラズマクリーナー

• プラズマ表面処理装置
• アッシング装置
• その他

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

• プラズマ表面処理装置
• アッシング装置
• その他

2枚重ねが出ない構造になっています！

• その他半導体製造装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラス

• その他半導体製造装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

• その他半導体製造装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です！

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置

有機EL等の基板製造装置に最適！

• コーター

有機EL等の基板製造装置に最適です！

• その他半導体製造装置

実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノインコーター(離型剤塗布装置)、プロト、量産用等多数掲載！

• その他表面処理装置
• その他塗装機械
• コーター

超低速ディツプコーター(ディップコーティング装置) ナノレベルの膜厚形成、オパール膜生成等に最適！レンタル貸出し中！

• コーター
• その他加工機械

ディップコーター(ディップコーティング装置)、まずはレンタルでご評価を

• コーター
• その他加工機械

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です！

• 蒸着装置
• コントローラ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

特許的な異質材質溶接技術で溶接しているサファイア真空覗き窓

• その他検査機器・装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

ハンドヘルドオシロスコープ　ＨＤＳ−Ｎ

• その他半導体製造装置

点字エッチングの技術は、トーホーの特許製品です！ 図柄と点字の一体化でデザイン性をＵＰ！！

• エッチング装置

実験用の小型成膜装置。ＰＥＴ等のフィルムに成膜します。

• スパッタリング装置

ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

水平揺動によるファインパターン対応の省スペースタイプ

• その他半導体製造装置

高密度化が進むプリント基板のファイン化のニーズに対応

• エッチング装置

板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能、FPC搬送対応も可能です。

• その他表面処理装置
• エッチング装置

高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

• エッチング装置
• その他半導体製造装置
• その他洗浄機

上エッチングは独立圧調でさらに高精度。FPC搬送対応可能。

• エッチング装置

使いやすい機能とすっきりしたデザインを兼ね備えた設計

• その他半導体製造装置

高周波・超音波洗浄を事業領域として産業と生活を支えるマザーツールを提供

• 超音波洗浄機
• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

セラミックス(アルミナ)球体を使用したフィルターです。球体を使用しておりますので濾過精度は均質です。

• セラミックス
• ファインセラミックス
• ウエハ加工/研磨装置

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機

AMLOC装置により、再生空気量を最小限に保つ省エネルギー装置

• その他半導体製造装置

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

• 加工受託
• 製造受託
• 蒸着装置

高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】

• CVD装置

高出力赤色半導体レーザーマーキング／品番 M1170NMSH-7LA

• 電子ビーム描画装置
• 刻印機
• レーザーマーカー

高精度なバイポーラ電流源です。

• 電源
• その他理化学機器
• その他半導体製造装置

色鮮やかな表現が可能で安価なアルミ銘板！陽極酸化被膜（アルマイト処理）により、溶剤等の影響を受けにくい！！

• エッチング装置

2インチ；3インチ；4インチ；5インチ；６インチ；8インチ；１２インチ ダミーウェハー～プライムウェハーまで、各グレードご提供

• 非鉄金属
• ウエハ加工/研磨装置
• その他

開発、設計から加工・溶接・組立・検査までを一貫して手がけております。

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• その他検査機器・装置

お客様の工場で困ったを解決できる企業になれるよう日々頑張って参ります。

• その他切削工具
• ウエハ加工/研磨装置
• 計装制御システム

輸送ケース　通箱　保管箱

• スパッタリング装置
• その他計測・記録・測定器
• その他

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コントロールが可能。JIS、MIL、IEC等の規格試験に対応。

• その他半導体製造装置
• 半導体検査/試験装置