半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
ベルト研磨機『ベーダーマシン』耐久性が高く、サービスパーツが豊富
『ベーダーマシン』は、1機1機が優れた研磨性能を誇る当社のベルト研磨機です。 被研磨物の形状・サイズに応じた機種・タイプを選び、 作業内容に適した研磨ベルトを装着することで、 幅広い分野の多種多様なものにフレキシブルに対応できます。 高効率研磨・研削による作業時間の短縮・省力化、 作業の標準化などに幅広くご活用ください。 【ラインアップ】 ■ポータブル型 BP-K(エアモーター型) ■受注生産機 PC-1(ホイールセンターレス)、BC(防塵カバー標準装備) ■設置型 BM(基本型)、SBA-1、BH-2 ■車輪型 SBD-4S、SBD-7、BWd ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
今までの露光装置とは生産性が違います！
- 電子ビーム描画装置
- その他半導体製造装置
- レジスト装置
岩通計測機社製 IGBTやMOSFET・トランジスタ・ダイオードなど各種半導体の特性測定に最適な半導体カーブトレーサ！
- その他計測・記録・測定器
- 環境試験装置
- その他半導体製造装置
![[チラー]モジュール式チラー M-Pakシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/fce/2000002889/IPROS8941791701173579306.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]リークレス高温対応モデル HTXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/e62/2000002888/IPROS5238684033053271565.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラ―]効率と省エネを追求した ESL-60シリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/506/2000002884/IPROS8738842573397075905.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]省エネモデル MXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/f7f/2000002891/IPROS320021963806305382.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]スループット追求モデル SXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/6c0/2000002893/IPROS2691380432675716836.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
半導体製造装置のウェハキャリアに耐熱性に優れたポリイミド樹脂MELDIN（メルディン）が採用されました。
- エッチング装置
