アクチュエータのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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アクチュエータ(駆動モータ) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

アクチュエータの製品一覧

61~90 件を表示 / 全 90 件

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【LPC】アクチェータ『PDM-100』

ブラシレスモータを搭載!メンテナンス性に優れ、高応答、高精度の制御を実現

『PDM-100』は、ウェブの巻き出し、巻取り部の蛇行制御に 用いるアクチェータです。 G-seriesのコントローラ、センサと組み合わせて使用し、 ブラシレスモータを搭載。 メンテナンス性に優れ、高応答、高精度の制御を実現します。 【特長】 ■メンテナンスフリーのブラシレスDCモータを採用 ■従来のPDシリーズと比べ、より俊敏で精度の高い蛇行修正制御が可能 ■PEM型コントローラやPSM型センサとはコネクタのみで接続するため 配線作業が容易 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型90度回転専用アクチュエータ『ROM』

90度回転直接駆動型!小型・コンパクト・軽量の電動アクチュエータ

『ROM』電動アクチュエータは、小型ボール弁やバタフライ弁及びダンパーや換気ルーバーの静音且つ信頼性の高い運転を実現します。 幅広い電圧に対応しており、開度の連続表示や手動操作(オプション)を特徴としています。 【特徴】 ○90度回転用ダイレクトドライブ電動アクチュエータ ○小型・コンパクト・軽量 ○電源断時でも現場開度指示計により開度表示を維持 ○高合金鋼ギア機構によるセルフロック ○防水・防塵等級:IP68(水深10m下に100時間) ○材質:アルミ合金 ○塗装:ドライパウダーコート 詳しくはお問い合わせいただくか、またはカタログをダウンロードしてください。

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アクチュエータ『CKレンジ』

IP68防水構造で高い耐環境性。非防爆エリアの用途に対応!モジュラー型電動アクチュエータ

『CKレンジ』は、非危険場所における多種多様な駆動用途のニーズにお応えするために設計されています。モジュラー設計であるため、在庫品を組み立てて短期間で納品することができ、また、制御モジュール(エイトロニック、セントロニック)を追加することで機能を拡張することもできます。 CKアクチュエータの筐体の防水・防塵等級は、EN60529に従い、IP68です(水深8m下に最長96時間)。 開・閉それぞれの方向について別々にトルクリミットや位置リミットを設定することができます。 【特長 ※一部】 ■ダイレクトドライブでの出力トルクは10~500Nm ■標準マルチターン減速機と組み合わせた場合のトルクは最大6750Nm ■標準パートターン減速機と組み合わせた場合のトルクは最大205600Nm ■プラグ&ソケットコネクタを使用した電気的接続であるため現場配線が容易 ■電源がなくてもバルブ開度の連続表示が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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モータレス単軸アクチュエータ『Robonityシリーズ』

長距離搬送にも対応!位置決めから搬送まで幅広い用途にご使用いただけます

『Robonityシリーズ』は、自動車部品、電機・電子、食品、医療品、 化粧品など、さまざまな生産工程に用いられるボールネジ駆動の モータレス単軸アクチュエータです。 ガイドレールとフレームを一体化した新設計構造のBasicモデル 「LBAS」をはじめ、高効率で高精度な研削ボールねじを標準採用した Advancedモデル「LGXS」をご用意。 豊富なラインアップから用途に合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■モータレス ■使い慣れたモータやドライバを搭載可能 ■幅広いリードバリエーション ■ロングストローク対応 1450mm ■位置決めから搬送まで幅広い用途に ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ジップチェーンアクチュエータ<中型サイズ>

垂直搬送を劇的に変える!低床×長ストロークだから多彩に活躍

中型サイズの『ジップチェーンアクチュエータ』は、垂直搬送の高機能化・ 省スペース化・安定稼働を実現する製品です。 最高速度は1000mm/s、最大推力は16.1kN。また、モータブレーキにより停止後の 自然降下なし、サーボモータなどとの組合せにより高精度の多点停止が可能です。 選びやすいストロークで駆動部無仕様のデザインストックモデルをご用意しており、 推力やストロークに応じて2種類のサイズからお選びいただけます。 【特長】 ■高速×高推力 ■高頻度×長寿命 ■停止精度×多点停止 ■低床×長ストローク ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ACサーボアクチュエータ FHA-Cシリーズ

ACサーボアクチュエータ

◆薄型形状/薄型・精密制御用減速機ハーモニックドライブ(R)と、弊社独自開発の超扁平ACサーボモータを一体化して実現しました。取り付けフランジ面からアクチュエータ端部までの長さが当社従来品ACサーボアクチュエータの1/2以下、全長でも約30%短縮しています。この薄さは、駆動する機械装置を飛躍的にダウンサウジングさせます。 ◆中空構造/アクチュエータ中央部の貫通穴に配線・配管・レーザー光などを通し機械・装置の稼動部にエネルギーの供給・信号の授受を行うことがき、機械装置の構造を簡略化できます。 ◆高出力トルク/薄型・精密制御用減速機ハーモニックドライブ(R)を組み込んでいるので、同サイズのモータ直接駆動に比べ、非常に高い出力トルクです。従来品に比べ最大トルクがさらに向上しました。 ◆高位置決め精度/検出器分解能で1,600,000パルス/回転(0.000225°/パルス)、一方向位置決め精度で40秒以下(FHA-17C-100/160)あるいは30秒(FHA-25C/32C/40C-100/160)と超高精度です。 ◆高いねじり剛性/高剛性のハーモニックドライブCSDシリーズを採用しています。

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電動アクチュエータ『サーボトップ2』

押す引く廻すはお任せください!総出荷台数73,781台の実績が示す信頼性

『サーボトップ2』は、デジタル制御なので、ゼロ・スパンが一発で設定ができ、 開閉速度を思い通りに設定が可能な空気源装置不要の電動アクチュエータです。 駆動回路が直流のため、緊急時に安全を確保するためバッテリ搭載形も選べます。 また、1/1000の分解能で制御できるステッピングモータを採用。 回転軸は両側ともボールベアリングで支持されているため耐振性、耐久性に優れています。 【特長】 ■ロイド船級認定品 ■高分解能・高精度 ■高精度開度センサ ■ステッピングモータ ■ウォームギア ■3連減速ギア ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【高機能で小型】中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズ

大慣性の円板・アームなどを直接取り付けられる中空ロータリーテーブルとモーターの一体型製品です。

モータと中空テーブルを組み合わせたDGIIシリーズ。 DGIIシリーズは、ステッピングモーターαステップ搭載モデルと、サーボモーターAZX搭載モデルと、各社サーボモーターと組み合わせできるモーターレスタイプがあります。 アクチュエータ内部は減速機構造のため、高出力駆動が可能です。 機構設計・部品手配・組み付け調整などの手間やコストを削減できます。 さまざまな制御・システム・インターフェイスに対応可能なラインアップ。 上位システムに合わせてドライバをお選びいただけます。

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電動アクチュエータ CHX (精密ステージ) [THK公式]

超薄型、高剛性、高精度を実現

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX(小型アライメントステージ)は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、仕様図・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。

  • 半導体検査/試験装置
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電動アクチュエータ VLACT (エコノミー) [THK公式]

エアシリンダに比べ高精度動作、多点位置決めが容易!

"THKの電動アクチュエータ エコノミーシリーズ VLACT(シリンダータイプ)は、静音性に優れ、環境性に優れています。エア機器からの置き換えで多点位置決め、速度調整が可能であり、軽量物の移動部にも最適です。また、シンプルな構造により部品点数削減、レール断面高さを抑えてスペース削減のため、低コスト化を実現しました。高い環境性が認められ、油塗り機のハケの駆動部に採用されました。メカ部分に食品用グリースを使用することで、食品機械への導入を可能にしました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、2D・3DCAD、対応制御機器一覧、仕様・寸法図一覧、など技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。"

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ジップチェーンアクチュエータ/ジップチェーンリフタ・ジップマスタ

油空圧シリンダの置き換えに使ってみませんか?高速・高頻度運転に対応し省エネ効果も

『ジップチェーンアクチュエータ』は、ジップチェーンをコンパクトなケースに 収納できるため、省スペース化を実現した製品です。 高速・高頻度運転に対応し、油・空圧シリンダと比べて使用電力量も大幅に 削減できます。高精度に多点停止が可能で、取付方向も自由。 他にも、ジップチェーンにより昇降推力をダイレクトに伝達できる 「ジップチェーンリフタ」や、ジップチェーン、リニアリニアガイド、モータを 一体化した「ジップマスタ」をラインアップしております。 【ジップチェーンアクチュエータ 特長】 ■チェーンケースの高さはストロークに対し約1/10と低床で、駆動部と  一体化することでさらにコンパクトになり、狭いスペースでの設置が可能 ■高速運転時では最大1000mm/sを実現 ■サーボモータを使用することで、高精度な多点停止や、連続運転が可能 ■耐摩耗性に優れ、チェーン伸びがなく期待走行距離は4000kmの走行が可能 ■押上・水平・吊下などのお客様のニーズに合った据付方向で自由に設置できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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電動アクチュエータ US(ユニバーサル) [THK公式]

高速・高可搬質量で、重量物の搬送に最適!トップクラスの長寿命!

"THKの電動アクチュエータ ユニバーサルシリーズ US(ボールねじタイプ・モータ駆動)は、最大可搬重量130kg、最大ストローク1700mm、最高速度2200mm/s と、重量物搬送・ロングストロークの高速搬送に最適です。また。お客様による組付けが容易になっています。そのため、ロングストローク・高剛性が求められる溶接ロボット採用機や、昇降部に高速移動が求められる細胞検査装置に使用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、2D・3D CAD、対応制御機器一覧、アクチュエータ組み合わせ、選定資料、仕様・寸法図など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。"

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電動アクチュエータ『αSTEP搭載電動スライダ・電動シリンダ』

ハイブリッド制御システム搭載!使いやすさと信頼性を両立したアクチュエータ

高剛性スライダ機構、シリンダ機構に αSTEP ARシリーズ、AZシリーズを組み合わせた直動製品です。 モーター、フレーム、ガイドレール、ガイドブロック、 ボールねじなどを選定・組み付け済みのため、お客様の設計時間や 装置立ち上げ時間短縮が可能です。 独自のハイブリッド制御をおこなう「aSTEP AZシリーズ/ARシリーズ」 を駆動モーターとして搭載し、使いやすさと信頼性を両立しました。 【電動スライダの特長】 ■薄幅 ■小型 ■高剛性 ■偏平 ■簡易防塵構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ラック・ピニオン LJリニアヘッド AZシリーズ組み合わせ

ラック・ピニオンとステッピングモーターを一体化したコンパクトサイズで、最大可搬質量200kgを実現

ラックピニオン機構とアブソリュートセンサを搭載したAZシリーズモーターを組み合わせた製品で、高精度なリニア駆動を目的とした電動アクチュエータです。 駆動モーターにはバッテリレスアブソリュートセンサ(ABZOセンサ)を内蔵したαSTEP AZシリーズを採用しています。 ABZOセンサの採用により、電源遮断時も位置情報が保持されるため、復帰時の原点復帰運転が不要です。 ピニオンの大径化により歯車強度が向上し、コンパクトなサイズながら最大可搬質量200kgを実現しています。 ラック・ピニオン機構を自作する場合と比べて使用している部品点数の削減、設計・組み立てにかかる工数を減らすことができます。 簡単組み付けでき、装置への設置やモーターのメンテナンスが容易におこなえます。 AZシリーズは、連結運転や運転間のタイマ設定、条件分岐、ループ運転などの豊富なシーケンス機能を搭載しています。(一部機種を除く) サポートソフトMEXE02を使って設定することができ、上位システムのシーケンスプログラムを簡略化できます。

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電動油圧アクチュエータ『e-Zero』

超簡単操作のインターフェース!省エネ・低騒音設計の電動油圧アクチュエータ

『e-Zero』は、電動モーターで油圧ポンプを駆動、油圧シリンダを動作 させる電動油圧アクチュエータです。 作動油の劣化が少ないバルブレスで、お客様による配管が不要。 電源のみですぐに使用でき、低騒音設計となっています。 “油圧使用でも消費電力を下げたい方”や“CO2排出量を削減したい方” などに好適な製品です。 【特長】 ■位置制御・荷重制御もお手のもの ■省エネ・低騒音 ■電源のみですぐ使える ■消費電力従来比9割減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高速駆動装置用 アクチュエータ『ボイスコイルモータ』

高精度な圧力制御・高速駆動を実現!軽量で高速、高精度なアクチュエータ

新電元メカトロニクスが製造販売する「ボイスコイルモータ(VCM) 」は、高精度・高速度制御を可能とするアクチュエータです。 高精度な位置制御・圧力制御・高速駆動が必要な分野への組み込みに適しております。 VCMは、重い鉄心を可動するソレノイドに対して、コイルのみの軽量な可動部をもつため、 応答性が優れており、また高速動作が可能となります。 また、電流が上がっても鉄心の磁化カーブの曲がる影響を受けにくく、 極めて直線的で良好な比例関係を示すことが出来ます。 【特長】 ■高速駆動機器に対応 ■可動部が軽量で高速応答 ■双方向出力 ■インダクタンスが小さく、制御性が良好 ■コギングレスでなめらか動作 ■推力と駆動電流の直線性が極めてよい ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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  • アクチュエータ

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[DIC] 電子変速アクチュエータ(Shift By Wire)

2020年、韓国初の国産化に成功した電子変速アクチュエータ(Shift By Wire)

車両のPRND変速のため、変速ボタン又は変速ダイヤル等を適用するためには 車両の電子信号だけで変速機のPRND変速のための電子式変速 アクチュエータは必須の構成部品です。 - 国内最初BLDCモーター及びサイクロイド減速ギアを使った電子式変速アクチュエータを開発、事業化しました。 -機械的な接続なしに電子制御装置による変速システムを構築。 - レンジ切替機能を実行(変速及び自動駐車) 1) 2020年、韓国初の国産化に成功 2) 低電力消費:SPMモーターに高精度位置制御を適用 3) 高い電力密度: 振動および小邑の最適化および コンパクトな梱包·軽量化 4) K5、ツーソン、スポーテージ等に適用中 5) エコカーラインナップを先制的に構築 6) 日本産に比べ60%のコスト削減が可能

  • 駆動系部品
  • アクチュエータ

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工業用ミシン等の圧力制御 アクチュエータ『ボイスコイルモータ』

位置・圧力制御・高速駆動が必要な工業用ミシン向け!軽量で高速、高精度なアクチュエータ

新電元メカトロニクスが製造販売する「ボイスコイルモータ(VCM) 」は、高精度・高速度制御を可能とするアクチュエータです。 高精度な位置制御・圧力制御・高速駆動が必要な工業用ミシンへ採用されております。 VCMは、重い鉄心を可動するソレノイドに対して、コイルのみの軽量な可動部をもつため、 応答性が優れており、また高速動作が可能となります。 また、電流が上がっても鉄心の磁化カーブの曲がる影響を受けにくく、 極めて直線的で良好な比例関係を示すことが出来ます。 【特長】 ■工業用ミシン分野で採用 ■可動部が軽量で高速応答 ■双方向出力 ■インダクタンスが小さく、制御性が良好 ■コギングレスでなめらか動作 ■推力と駆動電流の直線性が極めてよい ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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高精度、簡易フィードバック付、ロングストローク

高精度、簡易フィードバック付、ロングストローク

磁気スケール、磁気ヘッドを電動アクチュエータに取り付け、繰り返し位置決め精度±30μm(社内テストデータ)を実現 1)最大ストローク8500mm(1mm単位での注文が可能) 2)繰り返し位置決め精度±30μm(社内テストデータ):磁気スケール付 3)最大位置決め点数:250点 4)分解能5μmの磁気スケールを採用し、簡易フィードバックを実現 5)使用最高速度:4m/sec 6)アクチュエータ、モータ、カップリング、カップリングケース、磁気スケール、磁気ヘッド、専用コントローラ、サーボアンプをパッケージにして納入可能 7)モータはパルス列入力のものであればメーカは不問

  • その他産業用ロボット
  • その他加工機械
  • アクチュエータ

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ファウルハーバー社製:32L ... SB

最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『22L/32Lシリーズ』

FAULHABER(ファウルハーバー)社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ 32L ... SBは、モータ直径32mm、一回転のパルス数(max) 3200 min⁻¹~11000 min⁻¹で駆動することが可能です。

  • DCモータ
  • アクチュエータ

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ファウルハーバー社製:06L ... SL

最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『Lシリーズ』の小型バーション『06L/08L/10L』シリーズ

FAULHABER(ファウルハーバー)社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ、高負荷 06L ... SLは、モータ直径6mm、一回転のパルス数(max) 12000 min⁻¹で駆動することが可能です。

  • DCモータ
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ファウルハーバー社製:08L ... SL

最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『Lシリーズ』の小型バーション『06L/08L/10L』シリーズ

FAULHABER(ファウルハーバー)社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ、高負荷 08L ... SLは、モータ直径8mm、一回転のパルス数(max) 12000 min⁻¹で駆動することが可能です。

  • DCモータ
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ファウルハーバー社製:22L ... SB

最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『22L/32Lシリーズ』

FAULHABER(ファウルハーバー)社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ 22L ... SBは、モータ直径22mm、一回転のパルス数(max) 3600 min⁻¹~15000 min⁻¹で駆動することが可能です。

  • DCモータ
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ファウルハーバー社製:32L ... TL

最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『22L/32Lシリーズ』

FAULHABER(ファウルハーバー)社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ 32L ... TLは、モータ直径32mm、一回転のパルス数(max) 2000 min⁻¹~11000 min⁻¹で駆動することが可能です。

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【LPC】アクチェータ『PDM-200-S1』

許容質量10000kg。ブラシレスモータを搭載し、高応答、高精度の制御を実現

『PDM-200-S1』は、ウェブの巻き出し、巻取り部の蛇行制御に 用いるアクチェータです。 G-seriesのコントローラ、センサと組み合わせて使用。 ブラシレスモータを搭載し、メンテナンス性に優れ、 高応答、高精度の制御を実現します。 【特長】 ■メンテナンスフリーのブラシレスDCモータを採用 ■PEM型コントローラやPSM型センサとはコネクタのみで接続するため 配線作業が容易 ■従来のPDシリーズと比べ、より俊敏で精度の高い蛇行修正制御が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • outline_PDM-200-S1.gif
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サーボモータ・サーボアクチュエータ(アナログ信号入力タイプ)

アナログ信号入力タイプの回転・直動アクチュエータ、しかもサーボアンプ内蔵

アナログ信号で簡単に自在に駆動できる回転・直動サーボアクチュエータです。サーボアンプ内蔵、防水対応機種も標準ラインアップし、設置環境・用途を選びません。 *原点復帰動作不要、電池不要のアブソリュートエンコーダタイプもラインアップ。

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誘電エラストマー:省エネアクチュエータモードと発電モード

★人工筋肉型アクチュエータの現状をわかりやすく解説!

講 師 千葉科学研究所 Chiba Science Institute (CSI) 代表 千葉 正毅 氏 株式会社HYPER DRIVE 取締役副社長兼研究開発本部長 和氣 美紀夫 氏 対 象 人口筋肉に興味のある研究者など 会 場 川崎市教育文化会館 第2学習室 【神奈川・川崎】JR・京急「川崎駅」下車徒歩 15 分 日 時 平成23年4月22日(金) 10:00-16:30 定 員 30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。

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【航空宇宙業界 採用事例プレゼント】高性能ピエゾアクチュエータ

航空・宇宙で実績多数!微細振動の制振や、精密位置決めができるアクチュエータ

CEDRAT TECHNOLOGIES社のピエゾアクチュエータは、てこの原理を応用した “増幅機構”により、小型ながら最大1000μmの変位量を得られます。 ストローク、分解能、低電圧、超小型など、利用ニーズに叶う特長を持つ 多彩なバリエーションの中から最適な製品が選択できます。 【製品ラインナップ】 ■APA(従来型アクチュエータの2~5倍の変位を達成) ■DPA(ピエゾ素子を複数枚スタックしたスタンダード仕様) ■PPA(外部に圧縮力を発生するフレームを持ち、予備負荷レベルが高い) ■SPA(ナノ・ミクロンの領域をカバーする長いストローク) ■UPA(低電圧駆動ながら、高い振動速度) ■UPD(楕円振動を発生させ、摩擦を応用したピエゾモータに応用可能) ■LPM、RPM(長いストローク LPM:100mm、RPM:無制限) ■SPA30μXS Piezo Motor(新製品の超小型ステッピングピエゾステージ) ★技術資料2冊プレゼント中★ ピエゾアクチュエータの活用実績や製品情報が満載! 「航空宇宙産業での採用事例集」「技術資料」をダウンロードからご覧頂けます。

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誘電エラストマー:省エネアクチュエータモードと発電モード

★30年後の社会に必要なキーワードをピックアップ! ★人工筋肉型アクチュエータの現状をわかりやすく解説!

講 師 千葉科学研究所 Chiba Science Institute (CSI) 代表 千葉 正毅 氏 株式会社HYPER DRIVE 取締役副社長兼研究開発本部長 和氣 美紀夫 氏 対 象 人口筋肉に興味のある研究者など 会 場 川崎市国際交流センター 第5会議室【神奈川・川崎市】東横線 元住吉駅から徒歩10分 日 時 平成23年7月21日(木) 10:00-16:30

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【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753

最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ

精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15~38 µmのストローク(モデルによる)と最小0.1 nmの分解能(適切なコントローラ使用時)を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性

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  • 圧電デバイス
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