超薄型、高剛性、高精度を実現
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、仕様図・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
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基本情報
●超薄型 予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。 ●トップテーブルの小型化 トップテーブルのサイズは縦横ともに、100〜200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。 ●中抜き構造の設定可能 トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です（特殊対応）。下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用出来ます。 ●結線作業の簡略化 モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。
価格情報
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納期
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企業情報
THKは、1972年に世界に先駆けて機械の直線運動部の「ころがり化」を 実現し、「直動システム」を開発しました。この「直動システム」の 開発は、機械の高精度化、高速化、省力化、さらには効率の向上を 生み出し、省エネを考慮した装置設計を可能にしました。 THKの技術のすべては、あらゆるメカニズムの“動き”に さらなる軽やかさと精確さを与えるために注がれ、 さまざまな革新を世界中にもたらしています。 【THKの主要製品領域】 １．機械要素部品分野： ・LMガイド、ボールスプライン、ボールねじ、電動アクチュエータ等の 開発・製造・販売 ２．メカトロ関連製品分野： ・精密XYステージ、リニアモータアクチュエータ等 ３．自動車部品分野： ・リンクボール、ロットエンド等 ４．ロボット分野： ・ピック＆プレースロボット「PPR」、搬送ロボット「SIGNAS」、 サービスロボット「SEED- Solutions 」（ディスプレイロボット、 検温ロボット含む）等 ５．免震分野： ・免震テーブルTSD、免震モジュールTGS
