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小型・軽量・高効率・長寿命のベーン型ロータリートルクアクチュエータ「トリコロール」です。 重荷重、高出力トルク用に適しています
■最高使用圧力 21MPa ■搖動角度 90°~270° ■実績 ・トンネル・コンクリートの吹付機 ・船 ハッチカバーの開閉など ・清掃工場 扉の開閉 ・工作機器 ワーク輸送部品固定・供給、ツールチェンジャー ・クレーン コンテナの位置決め部 ・消防艇 消防用ノズルの旋回 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
外観検査のような振動を嫌うFA設備におすすめ！高剛性・高速動作を実現した電動アクチュエータ
電動アクチュエータ『高剛性タイプ』は、ハンチングを起こしにくいステッピングモータを採用し、本体の小型化・剛性の向上を実現しました。 小型化・剛性向上により、振動の発生を抑え振動の減衰が早い特性を実現します。 そのため、高速動作するカメラの昇降軸、横行軸に効果的な1軸アクチュエータです。 従来の同等サイズのアクチュエータに比べて、重量物の高速搬送を高精度に実現します。高速で動作するPP搬送にも効果的です。 また、サービスタップを多数設けています。サービスタップを有効活用することで、固定に悩んでいた配管・配線、部品の追加を簡単に行うことができます。 使用事例も多数公開していますので、是非ご覧ください。 【特長】 ■小型で高剛性を実現 ■従来品と同等サイズで、1.5倍以上の高剛性 ■電磁ブレーキ対応でも全長寸法変化なし ■本体・テーブルの2面取付が可能 ■インクリメンタルタイプとアブソリュートタイプをラインアップ ■サービスタップを多数設置 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。 また、サンプル貸出も承っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロータリージョイント4回路内蔵！Z軸と組合せやすい細型形状を採用により円筒への接着剤塗布、円筒面の外観検査におすすめ
電動アクチュエータ『ロータリータイプ』は、ロータリージョイントを内蔵しているため、エア機器（チャックやシリンダ）を回転させてもエアチューブの干渉・ねじれを防止でき、配管がとても簡単です。そのため、円筒への接着剤塗布、円筒面の外観検査などのワーク回転に効果的なロータリーアクチュエータです。 Z軸アクチュエータの先端に設置しやすい細型形状（断面積65％以上減）の採用により、PP搬送時の回転が簡単にできます。 高精度減速機を標準搭載したステッピングモータを採用。PP搬送時の回転・反転動作を高速・高精度に実現します。 基板の向き切替やコネクタの組立工程などFA設備にも多く使用していただいています。 使用事例も多数公開していますので、是非ご覧ください。 【特長】 ■小型で高剛性を実現 ■従来品と同等サイズで、許容曲げモーメント10倍以上 ■従来品と同等性能で、断面積65％以上減 ■配管の引き回しが容易な、ロータリージョイントを内蔵 ※真空でお使いの場合は、ご相談ください。 ※サンプル貸出を承っております。お気軽にお問い合わせ下さい。
＜制御弁のないアクチュエータ＞作動油の使用量が極めて少なく危険な場所でも可燃性オイルの使用を可能とし、消費電力を激減。
『HySerpack』は、従来方式の油圧駆動機の欠点を改良し、使いやすく 組立も簡単なユニット式ハイブリッド・アクチュエータです。 油漏れの原因である配管をなくし、更に複雑な配管の原因となっていた 制御弁を全く使用しておりません。 作動油の使用量が極めて少なく危険な場所でも可燃性オイルの使用を 可能とし、消費電力を激減させます。 【特長】 ■油圧源装置も制御弁も配管もないので油圧工事が一切不要 ■仕事量に見合った電力消費でランニングコストが激減 ■小型・高機能・高出力・高精度・低騒音 ■冷却排水が無く、作動油廃油処理もメンテフリー ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
制御弁のないアクチュエータの施工事例。制御弁も配管もない油圧駆動ユニット制御特性。出力4倍で容積は約1/8に！更に減揺操作も可
船舶の油圧操舵及び減揺装置にて当社のハイブリッド・アクチュエータ 「HySerpack」の施工事例をご紹介します。 船舶の操舵装置は通常サーボ弁または比例電磁制御弁を使用したサーボ コントロールシステムとなっております。 ハイブリッド・アクチュエータによる操舵装置は従来のものと比較し、 勝るとも劣らぬ制御特性を発揮し、出力4倍で容積は約1/8となったため 操舵室の大幅縮小が可能となりました。 更に操舵速度の向上により、減揺操作も可能となってきました。 【効果】 ■制御特性を発揮し、出力4倍に ■容積は約1/8になり、操舵室の大幅縮小が可能 ■操舵速度も向上し、減揺操作も可能に ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
位置・圧力制御・高速駆動が必要な工業用ミシン向け！軽量で高速、高精度なアクチュエータ
新電元メカトロニクスが製造販売する「ボイスコイルモータ(VCM) 」は、高精度・高速度制御を可能とするアクチュエータです。 高精度な位置制御・圧力制御・高速駆動が必要な工業用ミシンへ採用されております。 VCMは、重い鉄心を可動するソレノイドに対して、コイルのみの軽量な可動部をもつため、 応答性が優れており、また高速動作が可能となります。 また、電流が上がっても鉄心の磁化カーブの曲がる影響を受けにくく、 極めて直線的で良好な比例関係を示すことが出来ます。 【特長】 ■工業用ミシン分野で採用 ■可動部が軽量で高速応答 ■双方向出力 ■インダクタンスが小さく、制御性が良好 ■コギングレスでなめらか動作 ■推力と駆動電流の直線性が極めてよい ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動タイプにつき安定した力の伝達が可能。
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 バルブコントロールやコンプレッサー等の用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動タイプにつき安定した力の伝達が可能
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 ドローンの着陸装置、マルチコプターの回転斜板の用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
伸縮自在のパワフルリニアアクチュエータ。小型なのに10Kg持ち上げる。直動タイプにつき安定した力の伝達が可能
減速機構、回路内蔵の小型プログラマブルリニアサーボアクチュエータ。 定格推力最大100N！ Arduino ラズベリーパイ等にて制御頂けます。 カメラ、レーザー等のレンズ調整、フォーカス調整等、様々な用途にお使い頂けます。 ◆サイズ 27mmストローク 【サイズ】57.5 x 29.9 x 15mm 41mmストローク 【サイズ】86.9 x 36 x 18mm 56mmストローク 【サイズ】111.5 x 36 x 18mm 96mmストローク 【サイズ】151.5 x 36 x 18mm ◆動作について ・様々なプログラミング言語にてお客様ご自身でプログラミング、制御が可能です。 ・また、お客様に簡単に動かして頂ける、アクチュエータとPCをつなぐインターフェース、簡単にパラメータ設定頂けるソフトウェアを用意しております。 ・Arduinoベースのコントローラや、ラズベリーパイHATもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
アクチュエータで自動運転の未来をサポート
自動運転業界では、安全性と信頼性が最重要課題です。アクチュエータは、自動運転車の正確な制御に不可欠であり、その性能がシステムの成否を左右します。特に、過酷な環境下での耐久性や、ミリ秒単位での正確な動作が求められます。東京モートロニクス株式会社のアクチュエータは、これらの要求に応えるべく開発されました。お客様のお役に立てるよう新しい発想で強力なサポートを提供致します【今までにない新しいものを生み出す】当社は1987年創業からこの言葉を掲げ、アクチュエータの開発、設計、生産を行っておりますアクチュエータの市場規模は堅調に拡大を続け更に世界規模で厳格化している環境規制により今後もアクチュエータ関連製品は拡大するとの予想が出ております。このような市場の中、高まるお客様のニーズに応えるため、更に技術力に磨きをかけお客様へより多くのメリットをお届け出来るように努めております。 【活用シーン】 ・自動ブレーキシステム ・ステアリング制御 ・アクセル制御 ・ギアチェンジ 【導入の効果】 ・高い安全性と信頼性の実現 ・システムの高性能化 ・多様なニーズへの対応 ・長期的な製品安定供給
アクチュエータの開発、設計、生産でロボットの性能向上をサポート
ロボット業界では、高精度な動作を実現するために、アクチュエータの正確な制御が求められます。特に、複雑な動きや繊細な作業を行うロボットにおいては、アクチュエータの性能が、ロボット全体の精度と信頼性を左右します。不適切なアクチュエータは、動作の遅延や誤作動を引き起こし、作業効率の低下や事故につながる可能性があります。当社のアクチュエータは、お客様のニーズに応えるため、高精度な制御と高い耐久性を実現しています。 【活用シーン】 ・精密組立ロボット ・検査ロボット ・研究開発用ロボット 【導入の効果】 ・ロボットの動作精度向上 ・作業効率の向上 ・製品品質の向上
アクチュエータで航空宇宙機の軽量化をサポート
航空宇宙業界では、機体の軽量化が燃費効率の向上、性能向上に不可欠です。アクチュエータの小型化、軽量化は、この課題解決に貢献します。東京モートロニクス株式会社のアクチュエータは、航空宇宙機の軽量化ニーズに応えるべく開発されました。 【活用シーン】 ・航空機のフラップ、ラダー制御 ・衛星の姿勢制御 【導入の効果】 ・機体重量の軽減 ・燃費効率の向上 ・飛行性能の向上
精密制御を可能にする、軽量・コンパクトな電動リニアアクチュエーター
医療機器業界では、精密な動作制御が求められます。特に、医療機器や福祉機器など、人の健康に関わる機器においては、正確な位置決めと滑らかな動作が不可欠です。油圧シリンダーは、制御の難しさや油漏れのリスクがあり、精密制御の妨げになる可能性があります。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、これらの課題を解決し、精密な動作を実現します。 【活用シーン】 ・自動装置 ・医療機器 ・福祉機器 【導入の効果】 ・高精度な位置決め制御 ・低騒音でスムーズな動作 ・油圧機構からの置き換えによるメンテナンス性向上 ・コンパクト設計による省スペース化
仕分け作業の効率化に貢献する、軽量・コンパクトな電動アクチュエーター
物流業界の仕分け作業では、正確かつ迅速な荷物の移動が求められます。特に、多種多様な荷物を扱う現場では、仕分けの効率化が重要です。油圧シリンダーと比較して、省スペースで設置でき、制御も容易な電動アクチュエーターは、仕分け作業の効率化に貢献します。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、軽量・コンパクトでありながら、高い推力と耐久性を実現し、仕分け作業の自動化をサポートします。 【活用シーン】 ・仕分けコンベア ・自動倉庫 ・ピッキングシステム 【導入の効果】 ・作業時間の短縮 ・省人化 ・作業精度の向上
太陽光パネルの追尾に！軽量・コンパクトな電動アクチュエーター
太陽光発電業界では、太陽光パネルの発電効率を最大化するために、太陽の動きに合わせてパネルの角度を調整する追尾システムが求められます。特に、天候や季節によって太陽の高度や位置が変化するため、正確な追尾が重要です。油圧シリンダーと比較して、電動リニアアクチュエーターは、より精密な制御と省エネルギー性能が求められます。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、これらの課題に対応し、太陽光発電システムの効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・太陽光パネル追尾システム ・角度調整機構 【導入の効果】 ・発電効率の向上 ・メンテナンス性の向上 ・省エネルギー化
包装ラインの封入工程を効率化！軽量・コンパクトな電動アクチュエーター
包装業界の封入工程では、製品の品質保持と作業効率向上が求められます。特に、高速かつ正確な封入作業は、生産性の向上に不可欠です。油圧シリンダーは、速度制御や位置決め精度に課題があり、メンテナンス性も課題です。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、これらの課題を解決し、包装工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・包装機械の封入工程 ・商品の箱詰め、袋詰め工程 ・ラベル貼り付け工程 【導入の効果】 ・高速かつ正確な動作による生産性向上 ・低騒音、低振動による作業環境改善 ・省エネによるコスト削減
位置決め精度±1.0㎛以下！医療機器の精密操作をサポート
医療機器業界では、診断精度や治療効果を高めるために、微細な操作が求められます。特に、手術支援ロボットや顕微鏡などの精密機器においては、正確な位置決めと微小な動きが、安全かつ効果的な医療行為に不可欠です。不正確な操作は、患者へのリスクを高める可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、医療機器の精密操作を支援します。 【活用シーン】 ・手術支援ロボット ・顕微鏡 ・精密検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる診断・治療精度の向上 ・安全性の向上 ・操作性の向上
位置決め精度±1.0㎛以下！光学機器の微細調整に最適
光学機器業界では、レンズやミラーの微細な位置調整が製品の性能を左右します。特に、高精度な位置決めが求められる場面では、わずかなズレが画質や測定精度に影響を与える可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めを実現し、光学機器の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ・アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ・カメラのフォーカス、位置調整 ・顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる製品性能の向上 ・サブミクロン単位での微細調整の実現 ・光学機器の品質向上と歩留まり改善
最も標準でお求め安いアクチュエータ・エコシリンダー -メガマット２ 標準在庫品-
メガマットの更なる進化系として開発された最もポピュラーなアクチュエータです。 推力及びストローク、スピードにつきましては介護福祉、医療機器でも十分に対応できる仕様となっております。また、豊富なオプションも魅力です。安全性も十分に考慮され国際規格 ＥＮ及びＩＥＣも取得済です。 仕様概要 推力：最大 押し/引き 6000/3000N（種類にもよります） ストローク：最大425mm（種類にもよります） スピード：最大約36mm/s（種類にもよります） ＊デモ機の貸し出しにつきましては、お問い合わせ下さい
【Ex2015対応】端子箱がないため省スペース！低価格を実現した回転式電動アクチュエータのご紹介です
防爆地域のダンパー、バルブの操作機用途に適している製品です。 『耐圧防爆形回転式電動アクチュエータ（コントロールモータ ）dMC-50シリーズ』は、コンパクトで低価格を実現した回転式電動操作機です。 【特長】 ■小型で高耐久、低価格を実現 ■EU RoHS 指令(10 物質)に完全対応 ■防爆地域のダンパー、バルブの操作機用途に使用可能 ■3種類のトルクに応じた特徴を持っております。 ・形式dMC-50 トルク50N・m ・形式dMC-35 トルク35N・m ・形式dMC-24 トルク24N・m また、シリーズ化された国内防爆形回転式電動アクチュエータ（コントロールモータ）も取り揃えております。 他、組合せ周辺機器も取り扱っており、電々ポジショナ等組合せのご相談もお受けいたします。 ★『総合カタログ』もあわせて進呈中です★ 下記よりPDFダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください。
【総合カタログ進呈】通常の90°回転に加え、120、180および240°回転も可能！多くのオプションで用途に合わせて利用可能です
『GTレンジ』は、本体サイズのバリエーションが豊富で、複動式とスプリングリターンの2種類をご用意しています。 ユニットは、現場でも別のものへと容易に交換できます。 また、通常の90°回転に加え、120、180および240°回転にも対応しており、すべてのモデルにアンチブローアウト設計が組み込まれています。 只今総合カタログ無料配布中。ご希望の方はお気軽にダウンロードください。 【特長】 ■120、180、240°回転またはその他回転角度も指定可能(オプション) ■複動式とスプリングリターンの2種類 ■高温・低温モデル、防食素材・防食処理、取付キットなど多数オプションあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『22L/32Lシリーズ』
FAULHABER（ファウルハーバー）社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ 22L ... SBは、モータ直径22mm、一回転のパルス数(max) 3600 min⁻¹～15000 min⁻¹で駆動することが可能です。
最新のGPTギアテクノロジーを駆使した新しいリニアアクチュエータ『22L/32Lシリーズ』
FAULHABER（ファウルハーバー）社製のギアヘッド付きリニアアクチュエータ 32L ... TLは、モータ直径32mm、一回転のパルス数(max) 2000 min⁻¹～11000 min⁻¹で駆動することが可能です。
超高剛性×サブナノ分解能、光学系の微調整に最適
光学分野では、高精度な位置決めと微調整が求められます。特に、レンズやミラーの位置調整は、光学系の性能を左右する重要な要素です。わずかなズレが、画像品質の低下や測定精度の悪化につながる可能性があります。多層PICMA(R)ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、サブナノメートルの分解能と超高剛性により、光学系の精密な位置決めと微調整を実現します。 【活用シーン】 ・光学系の波面補正 ・レンズ・ミラーの微調整 ・干渉計用参照ミラー制御 ・レーザー光学系の安定化 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる、光学性能の向上 ・サブナノメートル分解能による、微細な調整 ・長寿命と高い信頼性 ・過酷な環境下での安定動作
超高剛性×サブナノ分解能、過酷な環境下でも長寿命を実現
精密測定の分野では、ナノレベルの精度が求められる測定や、過酷な環境下での測定が不可欠です。温度変化や振動、真空環境下など、様々な外的要因が測定精度に影響を与えるため、安定した動作と高い耐久性が重要になります。PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、これらの課題に対し、高い剛性と耐環境性能で応えます。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・半導体製造装置 ・光学素子の精密位置決め 【導入の効果】 ・サブナノメートルの分解能による高精度な位置決め ・過酷な環境下での安定した動作 ・長寿命化によるメンテナンスコスト削減
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
顕微鏡用途では、試料や光学系をナノメートルレベルで安定して位置決めできるステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムにおける試料の微小走査や位置補正用途に適しています。 【活用シーン】 ・顕微鏡による試料の微小走査 ・フォーカス位置の微調整 ・高分解能観察時の位置補正 マイクロ・ナノスケールでの位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
ナノテクノロジー分野では、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性を備えた位置決め機構が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。ナノスケールでのサンプル位置調整や微小変位制御を必要とする研究開発用途に適しています。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM）の位置制御 ・ナノリソグラフィーにおける微小位置調整 ・微細加工プロセスの精密アライメント ・ナノ材料評価・表面解析 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
バイオテクノロジー分野における細胞観察やマイクロマニピュレーションでは、微小変位を安定して制御できる位置決めステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムへの組込みや、微小サンプルの位置調整用途において、ナノメートルレベルの位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・顕微鏡下でのサンプル微調整 ・細胞観察時のフォーカス・位置補正 ・マイクロマニピュレーション用途 ・バイオサンプルの精密位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右します。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。N-331 PICMAWalkは、最大50 Nの高推力とサブナノメートル分解能を両立した組込み型リニアアクチュエータです。最大12 mm/sの高速動作に対応し、検査装置のタクトタイム短縮にも貢献します。 摩擦駆動方式により電源オフ時でも位置保持が可能。さらに真空対応仕様により、半導体検査装置やクリーン環境下での使用にも適しています。 【活用シーン】 ・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め ・マスクアライナーにおける位置決め ・検査装置における高精度位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルでの高精度な位置決めを実現 ・製造プロセスの品質向上と歩留まり向上に貢献 ・真空環境下での使用が可能 推力特性、その他仕様、真空対応オプションなどの詳細はカタログをご確認ください。
