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太陽光パネルの追尾に！軽量・コンパクトな電動アクチュエーター
太陽光発電業界では、太陽光パネルの発電効率を最大化するために、太陽の動きに合わせてパネルの角度を調整する追尾システムが求められます。特に、天候や季節によって太陽の高度や位置が変化するため、正確な追尾が重要です。油圧シリンダーと比較して、電動リニアアクチュエーターは、より精密な制御と省エネルギー性能が求められます。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、これらの課題に対応し、太陽光発電システムの効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・太陽光パネル追尾システム ・角度調整機構 【導入の効果】 ・発電効率の向上 ・メンテナンス性の向上 ・省エネルギー化
包装ラインの封入工程を効率化！軽量・コンパクトな電動アクチュエーター
包装業界の封入工程では、製品の品質保持と作業効率向上が求められます。特に、高速かつ正確な封入作業は、生産性の向上に不可欠です。油圧シリンダーは、速度制御や位置決め精度に課題があり、メンテナンス性も課題です。HIWIN 電動リニアアクチュエーターは、これらの課題を解決し、包装工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・包装機械の封入工程 ・商品の箱詰め、袋詰め工程 ・ラベル貼り付け工程 【導入の効果】 ・高速かつ正確な動作による生産性向上 ・低騒音、低振動による作業環境改善 ・省エネによるコスト削減
位置決め精度±1.0㎛以下！医療機器の精密操作をサポート
医療機器業界では、診断精度や治療効果を高めるために、微細な操作が求められます。特に、手術支援ロボットや顕微鏡などの精密機器においては、正確な位置決めと微小な動きが、安全かつ効果的な医療行為に不可欠です。不正確な操作は、患者へのリスクを高める可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、医療機器の精密操作を支援します。 【活用シーン】 ・手術支援ロボット ・顕微鏡 ・精密検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる診断・治療精度の向上 ・安全性の向上 ・操作性の向上
位置決め精度±1.0㎛以下！光学機器の微細調整に最適
光学機器業界では、レンズやミラーの微細な位置調整が製品の性能を左右します。特に、高精度な位置決めが求められる場面では、わずかなズレが画質や測定精度に影響を与える可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めを実現し、光学機器の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ・アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ・カメラのフォーカス、位置調整 ・顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる製品性能の向上 ・サブミクロン単位での微細調整の実現 ・光学機器の品質向上と歩留まり改善
最も標準でお求め安いアクチュエータ・エコシリンダー -メガマット２ 標準在庫品-
メガマットの更なる進化系として開発された最もポピュラーなアクチュエータです。 推力及びストローク、スピードにつきましては介護福祉、医療機器でも十分に対応できる仕様となっております。また、豊富なオプションも魅力です。安全性も十分に考慮され国際規格 ＥＮ及びＩＥＣも取得済です。 仕様概要 推力：最大 押し/引き 6000/3000N（種類にもよります） ストローク：最大425mm（種類にもよります） スピード：最大約36mm/s（種類にもよります） ＊デモ機の貸し出しにつきましては、お問い合わせ下さい
【Ex2015対応】端子箱がないため省スペース！低価格を実現した回転式電動アクチュエータのご紹介です
防爆地域のダンパー、バルブの操作機用途に適している製品です。 『耐圧防爆形回転式電動アクチュエータ（コントロールモータ ）dMC-50シリーズ』は、コンパクトで低価格を実現した回転式電動操作機です。 【特長】 ■小型で高耐久、低価格を実現 ■EU RoHS 指令(10 物質)に完全対応 ■防爆地域のダンパー、バルブの操作機用途に使用可能 ■3種類のトルクに応じた特徴を持っております。 ・形式dMC-50 トルク50N・m ・形式dMC-35 トルク35N・m ・形式dMC-24 トルク24N・m また、シリーズ化された国内防爆形回転式電動アクチュエータ（コントロールモータ）も取り揃えております。 他、組合せ周辺機器も取り扱っており、電々ポジショナ等組合せのご相談もお受けいたします。 ★『総合カタログ』もあわせて進呈中です★ 下記よりPDFダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください。
【総合カタログ進呈】通常の90°回転に加え、120、180および240°回転も可能！多くのオプションで用途に合わせて利用可能です
『GTレンジ』は、本体サイズのバリエーションが豊富で、複動式とスプリングリターンの2種類をご用意しています。 ユニットは、現場でも別のものへと容易に交換できます。 また、通常の90°回転に加え、120、180および240°回転にも対応しており、すべてのモデルにアンチブローアウト設計が組み込まれています。 只今総合カタログ無料配布中。ご希望の方はお気軽にダウンロードください。 【特長】 ■120、180、240°回転またはその他回転角度も指定可能(オプション) ■複動式とスプリングリターンの2種類 ■高温・低温モデル、防食素材・防食処理、取付キットなど多数オプションあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高剛性×サブナノ分解能、光学系の微調整に最適
光学分野では、高精度な位置決めと微調整が求められます。特に、レンズやミラーの位置調整は、光学系の性能を左右する重要な要素です。わずかなズレが、画像品質の低下や測定精度の悪化につながる可能性があります。多層PICMA(R)ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、サブナノメートルの分解能と超高剛性により、光学系の精密な位置決めと微調整を実現します。 【活用シーン】 ・光学系の波面補正 ・レンズ・ミラーの微調整 ・干渉計用参照ミラー制御 ・レーザー光学系の安定化 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる、光学性能の向上 ・サブナノメートル分解能による、微細な調整 ・長寿命と高い信頼性 ・過酷な環境下での安定動作
超高剛性×サブナノ分解能、過酷な環境下でも長寿命を実現
精密測定の分野では、ナノレベルの精度が求められる測定や、過酷な環境下での測定が不可欠です。温度変化や振動、真空環境下など、様々な外的要因が測定精度に影響を与えるため、安定した動作と高い耐久性が重要になります。PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、これらの課題に対し、高い剛性と耐環境性能で応えます。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・半導体製造装置 ・光学素子の精密位置決め 【導入の効果】 ・サブナノメートルの分解能による高精度な位置決め ・過酷な環境下での安定した動作 ・長寿命化によるメンテナンスコスト削減
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
顕微鏡用途では、試料や光学系をナノメートルレベルで安定して位置決めできるステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムにおける試料の微小走査や位置補正用途に適しています。 【活用シーン】 ・顕微鏡による試料の微小走査 ・フォーカス位置の微調整 ・高分解能観察時の位置補正 マイクロ・ナノスケールでの位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
ナノテクノロジー分野では、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性を備えた位置決め機構が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。ナノスケールでのサンプル位置調整や微小変位制御を必要とする研究開発用途に適しています。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM）の位置制御 ・ナノリソグラフィーにおける微小位置調整 ・微細加工プロセスの精密アライメント ・ナノ材料評価・表面解析 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
バイオテクノロジー分野における細胞観察やマイクロマニピュレーションでは、微小変位を安定して制御できる位置決めステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムへの組込みや、微小サンプルの位置調整用途において、ナノメートルレベルの位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・顕微鏡下でのサンプル微調整 ・細胞観察時のフォーカス・位置補正 ・マイクロマニピュレーション用途 ・バイオサンプルの精密位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右します。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。N-331 PICMAWalkは、最大50 Nの高推力とサブナノメートル分解能を両立した組込み型リニアアクチュエータです。最大12 mm/sの高速動作に対応し、検査装置のタクトタイム短縮にも貢献します。 摩擦駆動方式により電源オフ時でも位置保持が可能。さらに真空対応仕様により、半導体検査装置やクリーン環境下での使用にも適しています。 【活用シーン】 ・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め ・マスクアライナーにおける位置決め ・検査装置における高精度位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルでの高精度な位置決めを実現 ・製造プロセスの品質向上と歩留まり向上に貢献 ・真空環境下での使用が可能 推力特性、その他仕様、真空対応オプションなどの詳細はカタログをご確認ください。
ナノレベルの位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
ナノテクノロジー分野では、ナノレベルの位置制御と微小な動作制御が求められます。特に原子・分子レベルの観察や微細構造の操作では、アクチュエータの分解能や応答性能が研究成果に大きく影響します。 P-216 ピエゾアクチュエータは、サブナノメートル分解能と最大4500 Nの高推力を兼ね備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。高速応答により、ナノスケールの位置決めや微細動作制御を高精度に実現します。ナノ計測装置やナノ加工装置において、精密な動作制御と安定した操作をサポートします。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・ナノインデンテーション ・微細加工 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決めが可能 ・高精度な操作による実験効率の向上 ・研究開発における新たな可能性の創出
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
光学機器のレンズ調整では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に光軸の微調整や焦点距離の制御では、わずかな位置ズレが画像品質や測定精度に大きく影響します。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの高推力と高い剛性を備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。内部に歪みゲージセンサーを搭載したモデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。光学レンズ調整や干渉計測など、高精度な位置制御が求められる光学システムに適しています。 【活用シーン】 ・レンズの光軸調整 ・焦点距離の微調整 ・光学顕微鏡 ・干渉計 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高精度な位置決め ・光学系の性能向上 ・実験・研究の効率化 ・高精度な測定の実現
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
研究開発分野の実験では、精密な位置決めと高負荷条件への対応が求められます。特に光学実験や材料試験など、微細な動きが結果を左右する場面では、ナノレベルの位置制御が重要となります。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの推力と3,500Nの引張力を備えた高荷重対応アクチュエータです。歪みゲージセンサー内蔵モデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。これにより、研究開発における実験の再現性向上と高精度なデータ取得に貢献します。 【活用シーン】 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニング 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決めが可能 ・高負荷条件下での実験に対応 ・実験の再現性向上 ・より正確なデータ取得
最大800Nの保持力と5nm分解能を実現。半導体製造装置の高精度位置決めを支える高推力ピエゾドライブ
半導体製造では、ウェハ検査やナノリソグラフィなどの工程において、ナノメートルレベルの高精度位置決めが求められます。わずかな位置決め誤差でも、製品品質の低下や歩留まり悪化につながる可能性があります。 N-216は、PI独自のNEXLINE(R) PiezoWalk(R)ウォーキングドライブ技術を採用した高推力リニアアクチュエータです。 0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の高分解能と最大800Nの保持力により、半導体製造装置における高精度かつ安定したナノ位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェハ検査装置 ・ナノリソグラフィ装置 ・半導体製造装置 ・ナノ計測装置 ・精密位置決め用途 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの高精度位置決めによる歩留まり向上 ・高推力駆動による安定した位置決め性能 ・製造プロセスの効率化 ・高品質な半導体製品の安定生産に貢献
ミラー・光学素子の微細調整に最適な高保持力コンパクトアクチュエータ
光学システムでは、光学素子の精密な位置調整や光軸アライメントが、システム性能を左右する重要な要素です。特にレーザー装置や顕微鏡などの精密機器では、わずかな調整誤差でも測定精度や画像品質に影響を与える可能性があります。 N-470は、ピエゾ慣性駆動（スティックスリップ）方式を採用したコンパクトなリニアアクチュエータです。高分解能の微動調整と高い保持力（100 N）により、光学ミラーのチップ・チルト調整や光学素子の精密な位置決めを安定して行えます。 さらに停止時にはセルフロック機構により位置を保持するため、電流を必要とせず発熱もありません。長期間にわたる安定した光学アライメントを実現します。 【活用シーン】 ・光学ミラーの微調整 ・光学素子の位置決め ・ファイバーアライメント 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる測定精度の向上 ・長期安定性の確保による信頼性向上 ・手動調整からの解放による作業効率の向上
最大13 mmストロークで顕微鏡フォーカスを精密制御
顕微鏡観察では、観察対象への高精度なフォーカス調整が、鮮明な画像取得に不可欠です。特に高倍率観察や長時間観察では、微小なフォーカス調整が求められます。 N-470は、最大13 mmの移動範囲と高い保持力を備えたピエゾマイクロポジショニングアクチュエータです。高分解能の位置調整により、顕微鏡のフォーカス位置を精密に制御できます。 さらに停止時にはセルフロック機構により位置を保持するため、電流を必要とせず発熱もありません。顕微鏡の安定したフォーカス調整を実現します。 【活用シーン】 ・顕微鏡の対物レンズのフォーカス調整 ・細胞観察、材料観察、半導体検査など 【導入の効果】 ・高精度なフォーカス調整による鮮明な画像取得 ・長期安定性による観察の効率化 ・手動調整からの解放による作業効率の向上
慣性駆動と位置フィードバックで長期安定の光学微調整
光学システムでは、高精度な光軸調整や位置決めが重要です。特にレンズやミラーなどの光学素子の位置は、システム性能や測定精度に大きく影響します。わずかな位置ズレでも、画像品質の低下や測定誤差の増大につながる可能性があります。 N-472シリーズは、インクリメンタルエンコーダによる位置フィードバックを備えたピエゾマイクロポジショニングアクチュエータです。慣性駆動（スティックスリップ）方式により、高分解能の位置決めと長期安定性を実現し、光学素子の精密なアライメント調整を可能にします。 さらに停止時にはセルフロック機構により位置を保持するため、電流を必要とせず発熱を抑制。長時間にわたる安定した光学調整を実現します。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡の対物レンズ調整 ・レーザー加工機の光軸調整 ・半導体製造装置における位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めにより、システムの性能向上 ・長期安定性により、メンテナンス頻度の削減 ・インクリメンタルエンコーダ内蔵により、位置フィードバックが可能
慣性駆動と位置フィードバックで顕微鏡フォーカスを長期安定化
顕微鏡観察では、観察対象への高精度なフォーカス維持が求められます。特に長時間観察や環境変動のある条件では、フォーカスのドリフトが観察品質に影響する場合があります。 N-472シリーズは、インクリメンタルエンコーダによる位置フィードバックを備えたピエゾマイクロポジショニングアクチュエータです。慣性駆動（スティックスリップ）方式により高分解能の位置決めを実現し、顕微鏡のフォーカス位置を長期間にわたり安定して維持します。 さらに、停止時にはセルフロック機構により位置を保持するため、電流を必要とせず発熱も抑えられます。長時間の観察環境においても安定したフォーカス制御を可能にします。 【活用シーン】 ・顕微鏡のフォーカス調整 ・細胞観察 ・半導体検査 【導入の効果】 ・高精度なフォーカス制御による観察精度の向上 ・長期安定性による観察効率の向上 ・動作時以外は電流を必要としない省エネ設計
サブミリ秒応答、サブナノメートル分解能。ビーム制御に最適。
光学業界におけるビーム制御では、光の精密な位置決めと安定性が求められます。特に、レーザー加工や光通信といった分野では、微小なズレがシステムの性能に大きな影響を与える可能性があります。PICA(TM) Thruアクチュエータは、サブミリ秒の応答速度とサブナノメートルの分解能により、高精度なビーム制御を実現します。性能劣化のない状態で長期間の使用が可能です。 【活用シーン】 ・レーザー加工におけるビーム位置制御 ・光通信システムの光ファイバーアライメント ・顕微鏡の対物レンズ位置調整 【導入の効果】 ・ビーム位置決め精度の向上 ・システムの安定性向上 ・生産性の向上
医療機器、診察用ベッド、介護用機器など振動が問題となる機器に！外部のエネルギーが不要で、後進時のスピードが荷重によらずほぼ一定！
『昇降時にガタつきが発生してしまう』『精密機器を載せているので静かに降ろしたい』『昇降時の振動が気になる』このようなお悩みはございませんか？ ロームへルド社の油圧式リニア・アクチュエーター『RH1250』は、後進時のスピードが荷重によらずほぼ一定なので、気になるガタつきが発生しません。 そのため、医療機器、診察用ベッド、介護用機器、作業台などに利用されています。 また、外部のエネルギーが不要で、取付姿勢の自由度が高く、メンテナンスフリーです。 【特長】 ■最大推力4.5kNから12.5kN ■ペダルで操作するメカ油圧方式 ■外部のエネルギー不要 ■後進時のスピードが荷重によらずほぼ一定 ■メンテナンスフリー など ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
★医療福祉機器、触覚デバイス、ロボット、宇宙産業への応用など将来の研究開発の応用展開先として魅力的なデバイス!その改良法は?
川崎市産業振興会館 10F 第2会議室【神奈川・川崎】 平成25年2月28日(木) 13:30-16:30 (独)産業技術総合研究所 健康工学研究部門人工細胞研究グループ 研究グループ長 安積 欣志 氏 http://ec.techzone.jp/products/detail.php?product_id=3181
最大20MPaの高圧用例をはじめ、様々な圧力レンジのレギュレータと組合せて使用可能、もちろん遠隔制御可能
機械的な特徴： 1. 頑丈な防爆型、IP66/68 ハウジング。 2. 同軸ギアタイプにより、結合なしで熱膨張・収縮に対応。 3. 強力な遊星歯車減速による強度及び長寿命。 4. NAMUR取付け式(F05 & F07)。 5. 取付け方に応じ、ユニバーサルアダプタープレートに変更可能。 6. デジタルリミットスイッチにより、最小限のヒステリシスと高い精度が可能。 7. エンクロージャ上部に配線口があり、簡単に配線及び接続。 高圧レンジでは • モデルHPD 0-0.173 ～ 0- 3.45 MPa • モデルHPP 0-6.9 ～ 0- 20.7 MPa ！！詳しくは問合せ又はカタログをダウンロード下さい！！
厳正な流体制御用例向け高信頼性製品。低圧、中圧、高圧用例向け。 デモ機貸し出しも可能。
ーロトルクフェアチャイルドPAX1 はフェアチャイルド製精密レギュレーター制御用に最適です。 ーPAX1 は遠隔地、及び危険な環境において最大20.68 MPa迄の圧力を制御出来ます。 ーPAX1 は内蔵モーターにより双方向に可動しますが、レギュレーターのスプリングに対抗、又は共に動作する連結性はありません。 ーPAX1は電源、又は制御信号喪失時には最終位置を保持します。 ＜特徴・利点＞ ー設定レンジは真空から20.68 MPa。 ー最大ストローク速度は10秒以下。 ー耐候性 IP66/IP68/Type 4X/Type 6P ー温度範囲 -40℃から＋80℃。 ー消費電力 1ワット以下、待機時/遠隔地における不作動時。 ーオプションでアナログ制御とフィードバック。 ーユーザーによるストローク設定。 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。
繊維微粉が舞う特殊環境でも安定駆動！静音・小型・高出力――繊維機器のための高性能アクチュエーター
繊維機器においては、微細な繊維粉が舞う環境下での安定動作が求められます。 さらに、使用される各工程においては、小型・軽量・高出力・高精度・高堅牢性・高応答性・静音性といった、極めて高い要求水準が課せられます。 従来のソレノイド単体では、これらすべての要件を同時に満たすのは困難です。 しかし、弊社のSC電磁アクチュエーターは、高精細なｐｗｍ制御と専用ドライバとの組み合わせにより、これらの課題をクリア。 繊維機器に特化した設計で、安定した高性能動作を実現します。 【用途例・活用シーン】 ■多品種対応のテンション制御機構 ■糸や布地の固定・保持機構 ■工業用／家庭用ミシンのアクチュエーター部 ■その他、微細な動作制御を必要とする駆動部全般 【導入によるメリット】 ■小型・軽量化による機器全体の応答性向上 ■高耐久設計によりメンテナンス頻度・コストを大幅削減 ■過酷な環境下（振動、微粉塵、繊維片等）でも安定稼働 ■静音性により操作者のストレスを軽減 ■機械性能の向上により製品品質も向上 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
小型・軽量・長寿命！耐熱・低アウトガス・静音・低発塵性を兼ね備え、 特殊環境下でも安定駆動を実現する電磁アクチュエーター！
半導体製造装置において、高精度な位置決めや静音性は極めて重要な要素です。 しかし、従来のソレノイドは動作音や振動が大きく、クリーンルーム環境下での使用においては発塵やアウトガスなどの問題もあり、導入が難しい場面がありました。 弊社の「SC無音ソレノイド」は、これらの課題を解決するために開発された高性能電磁アクチュエーターです。 静音・低振動で動作し、アウトガスや発塵を最小限に抑え、真空・高温・振動といった過酷な環境下でも安定稼働が可能です。 【活用シーン】 ■半導体製造装置：ウェハ搬送、ステージ移動、部品実装など高精度な位置決めが求められる工程 ■軽量化による装置の高速動作・応答性向上 ■クリーンルーム内での低発塵・低アウトガスな駆動部としての活用 【導入の効果】 ■クリーンルーム環境の維持：低騒音・低振動・低発塵により環境負荷を軽減 ■歩留まりの向上：高精度位置決めにより製品品質を安定化 ■生産性向上：高速・安定動作により製造工程の効率化を実現 ■長寿命設計によりメンテナンス頻度・コストを削減 ■過酷な環境（真空・高温・振動）下でも確実に稼働する堅牢性
ベーン型ロータリートルクアクチュエータ「トリコロール」 標準タイプのクッション付。新設計のコンパクトサイズ
新たに追加されたシリーズで標準タイプのクッション付。新設計によるコンパクトサイズになっており、現標準品との互換性があり、とても使用しやすくなっています。 ■最大使用圧力 5MPa ■搖動角度 90°～270° 最大角度280°および中間角度のタイプも制作可能です ■実績 ・トンネル・コンクリートの吹付機 ・船 ハッチカバーの開閉など ・清掃工場 扉の開閉 ・工作機器 ワーク輸送部品固定・供給、ツールチェンジャー ・クレーン コンテナの位置決め部 ・消防艇 消防用ノズルの旋回 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
