更新日： 集計期間:2026年06月10日～2026年07月07日
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各ラインのガス流量を自動演算！モバイル端末でのリモート制御が可能です
『BRENDA SERIES』は、高性能デジタルマスフローコントローラにより、 正確なガスの混合率で混合ガスを生産できるようになりました。 また、8インチタッチパネル採用により混合ガスの濃度・流量設定が簡略化 されました。 機能面も充実した当製品はVNCサーバー機能を標準搭載し、ネットワークを 介しての遠隔操作、無線アクセスポイントを介したモバイル端末でのリモート 制御を可能としました。 【特長】 ■高性能デジタルマスフローコントローラを採用 ■比率設定モード ■ステップモード ■VNCサーバー機能 ■データロギング機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ニス・塗料・接着剤にオススメ！中・高粘度対応モデル！
『VA型シリーズ』は、ニス・塗料・接着剤にオススメの、特別粘度範囲制御用 粘度コントローラーです。 外板の洗浄が容易なステンレス製BOXです。また、無給油でのポンプ運転を防ぐ 電源ON時連動エアー供給を採用しています。 ダイヤフラムポンプの取付に蝶ナットを使用しており、ポンプ脱着が容易です。 【特長】 ■ステンレス製BOX採用 ■ポンプ室専用扉採用 ■上部受け皿タイプ採用 ■排気クリーナー採用 ■デジタル圧力スイッチ採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シール材も豊富にラインアップ！2種の本体形状の中から、配管条件にあった形状を選択可能
『FFNV1シリーズ』は、ニードル部を無回転構造にする事により、 スムーズに精密な流量制御が可能なニードル弁です。 豊富なニードルラインアップの中から、ご使用条件にあったニードル選定が できるほか、2種の本体形状の中から、配管条件にあった形状を選択可能。 また、シール材も豊富にラインアップしています。 【特長】 ■気体・液体対応 ■ニードル部を無回転構造にする事により、スムーズに精密な流量制御が可能（約13回転） ■豊富なニードルラインアップの中から、ご使用条件にあったニードルの選定が可能 ■2種の本体形状の中から、配管条件にあった形状を選択可能 ■豊富なシール材ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＣＯ２局所施用はじめませんか？エコで低コストを実現するオムニア・コンチェルトの局所施用技術
『OCES-200S』は、ハウス内の群落にCO2を局所的に放出することで 光合成を活発化し、成長を促進させるコントローラーです。 当製品の制御によってCO2を無駄なく、効率よく供給することが可能。 「専用センサBOX」と「バルブユニット」の設置が必要となります。 設置は当社でお受けすることができますのでご用命ください。 【サイズ】Ｈ１９０×Ｗ１９０×Ｄ１３０ 【重量】 約１．７ｋｇ 【特長】 ■多点測定・多エリア個別独立制御・ガス濃度等のデータ収集が可能 ■必要な部位に必要な分だけ施用可能 ■メモリ機能標準搭載でデータ記録 (CO2濃度、温度、湿度、各種設定値)も可能 ■エコで低コスト ■コンパクトで大画面／液晶タッチパネル採用 ■簡単操作 ■ＣＯ２濃度、温度、湿度を大きな数字で表示 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
押出樹脂（プラスチック）成型必携 自動引取機（押出機回転数）制御装置のエッジコントローラ
樹脂の異形押出業界ヒット商品 『エッジコントローラ』のご案内です。 【特長】 ・自動運転による確実なコストダウンで省力化 ・品質の安定 ・今までは手作業でしか引けなった不安定な樹脂でも安定して引く事が可能 センサで押出樹脂の形状の変化を捉え、引取機速度（または押出機回転数）を自動制御します。 押出機とサイジングの間のエアギャップにセンサをセットします。 どんな引取機、押出機にも対応可能です。 成形品のエッジを見るだけで制御できるので、平板やL形等簡単な形状はもちろん、大型の製品や断面が複雑な製品でも対応できます。 ＊用語について 「エッジコントローラ」を、…データを収集する装置、という説明がありますがETEX（株）の「エッジコントローラ」は、エッジを目標値に制御する装置です。 「温度コントローラ」「流量コントローラ」「圧力コントローラ」などと同じように、物理量などを目標値に制御する装置、の意味で使用しています。データを収集する装置では有りません。
【ポンプシステム 事例2】超臨界ガス計測と制御
超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！
『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
機器と機器の接続はケーブルのコネクタを差し込むだけ！
『小型触媒性能試験装置』は、触媒性能の基礎実験や小さな試験材料等を 研究室で実験するために開発された卓上試験装置です。 コントロールユニットで流量調節弁・開閉バルブ・ ヒーター等を同時に制御し、すべての機器のコントロールを 時間管理して運転いたします。 また、反応器ユニットは、気化器と恒温槽と反応器電気炉を 各温度設定値でコントロールいたします。 【特長】 ■外部出力機能で外部機器を同時に操作することも可能 ■簡単に試験工程を入れ替え可能 ■軽量で自由なレイアウトに設置可能 ■マスフローコントローラを5台制御 ■既存の試験装置に追設導入する事も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。
帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10 4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。
クリーンルームの室間差圧制御に最適！塵埃や最近などの汚染の拡大を防止
『PEC-X』は、マイコンを搭載し、操作性・機能性・信頼性を大幅に充実した 室圧コントローラです。 圧力センサとコントローラ、空調用ダンパーを開閉するモーターが一体になった システムで、空調の風量は一定のまま、排気量を変化させて室圧を制御します。 これまで室間差圧で使われてきた「VAV（Variable Air Volume、可変定風量）」 よりも短時間で正確に設定した室圧を実現できるのが最大の強みです。 さらに、LEDにデジタル表示されるため、設定値や現在値の確認が簡単なほか、 制御パラメータの設定や変更も押しボタンで容易に操作できます。 バイオロジカルクリーンルームの領域で交差汚染・感染症対策の強化、そして インダストリアルクリーンルームの領域の高精細・高品質化競争に貢献します。 【特長】 ■オールインワン タイプでコンパクト化 ■制御性を向上し高精度化 ■操作性を向上 ■利便性を向上 ■通信機能を向上 ■現地工事が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8週間という短納期でサンプルが入手可能！サプライチェーンは堅牢です
『SFC6000D-50slm』は、再現性、精度、制御範囲、速度の点で 優れたパフォーマンスを発揮するマスフローコントローラーです。 優れた価格性能比と納期が8週間という短納期でサンプルが 入手できる非常に魅力的な製品。 また、非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
衝撃波で飛ばす！エア消費量を50％削減したパルスブローコントローラー
当社では、電源不要で供給ポートからのエアのみで内部シリンダーを作動し パルスを発生させる千代田通商株式会社の『パルスブローコントローラー』を 取り扱っております。 バルブの解放と閉鎖時間が同じため、従来の連続ブローと 同じ作業時間であれば、空気消費量は50％の削減ができます。 【特長】 ■エア消費量50%削減 ■パルス調整が簡単 ■エアブローの効果UP ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
信頼性と柔軟性に優れた水処理コントローラ
Intuition-9シリーズは、最大12つの制御出力、高性能センサ機能、測器、液体処理、各種データ通信技術を１台にすべて集約したコントローラです。 ■高い操作性 ・7インチの大型カラータッチパネル搭載 ・スワイプ操作で直感的に設定・操作が可能 ■柔軟で高い拡張性 ・最大24点のアナログ入力、最大12点の制御出力 ・I/Oボードの組み合わせで用途に応じた構成が可能 ・仮想入出力により演算や複合制御にも対応 ■多様なセンサ対応 ・電導度、pH、ORP、温度、流量、圧力など ・現場の各種センサからのデータを統合して監視 ■常時監視・通知機能 ・24時間365日稼働 ・警報・データログ・レポートをメール通知可能 ■リモート管理・IoT対応 ・LAN、Wi-Fi、インターネット接続で遠隔アクセス ・専用ソフト「Walchem Fluent」でデータ可視化 ・リアルタイム監視、設定変更、アラーム管理が可能 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問合せください。
持続可能な未来を支える「ソリューション」
水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品：マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体・液晶プロセスなどにおける各種流体コントロール。 脱気モジュールをはじめ、テフロン製品など幅広い製品群を提供しています。
電装産業株式会社では、半導体・液晶プロセスなどにおける 液体・気体などの流体をコントロールする製品を多数取り扱っています。 液体プロセス中の溶存気体を除去する「脱気モジュール」をはじめ、 耐薬品性やクリーン度を要求するラインの様々な液体をコントロールする 「ファインケミカルレギュレータ」や「プラグバルブ」などのテフロン製品 など、幅広いラインアップを提供しています。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFCをご紹介！
『SFC5300』は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定 および制御することができるマスフローコントローラーです。 コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定でき、 本体ボディーは金属製。 また、当製品の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには 2つのデジタルインターフェイスを用意しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5 and 10 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10 bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスフローの精密制御において当社が歩んできた20年間の実績の集大成！
『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる！
『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■応答時間が0.5秒以下 ■取り付け姿勢の影響を受けない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
屋根への打ち水で屋内への伝熱量を削減。 屋内の冷房負荷を軽減し節電効果大！
工場、作業所などの屋根へ打ち水するノズル「ストリームジェットノズル」とタイマーコントローラー。 【特長】 ■複数の直進流を放射状に噴射します。 ■全円周タイプ、半円周タイプを組み合わせることにより、 屋根の形状に応じた無駄のない設置レイアウトが可能です。 ■スプレー停止時はコアによってノズル内部がシールされ、 異物の流入を防ぎます。 ■専用コントローラーによる間欠制御で効率的な散水設定が可能。 ■コントローラーは樹脂製の防塵・防水BOX。ストレーナー、圧力調整弁付きです。 スプレーノズルのグローバルブランドであるスプレーイングシステムスは、 9万アイテム以上の実績をもとに様々な用途にあったノズルを提供しています。 ※スプレーイングのノズルについてはPDFダウンロードまたはお問い合わせください。
標準分解能（7回転）のニードル弁です。ガス・液体の流量調整に最適です。
FLOW-ADJUSTは標準分解能のニードル弁です。 最小Kv=4.5E-02, 最小Cv=5.3E-02 最大Kv=9.0E-02, 最大Cv=1.05E-01
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
欧州で圧倒的シェア！液体・ガスともに広範な流量レンジをカバーできる！マスフロー測定・制御機器の総合カタログ進呈中！
ヨーロッパの流量測定・制御分野で圧倒的シェアを誇るブロンコスト・ハイテックが取り扱う、マスフローメーター・マスフローコントローラーの流量計総合カタログです。目的に必要な精度や流量レンジを兼ね揃えた機器がきっとみつかる広範なラインナップです。 1981年以来、サーマル式とコリオリ式を中心に微流量～大流量まで広範なレンジに対応した高精度の製品を展開しています。世界各国のＲ＆Ｄ、工業分野で採用されています。小流領域特化のコリオリ製品も注目です。 【こんなことでお困りの方へ】 ■温度・圧力変動時の再現性を良くしたい ■計器が場所を取る ■液体を変える度の再校正を減らしたい 【掲載内容】 ○EL-FLOWシリーズ ○IN-FLOWシリーズ ○EX-FLOWシリーズ ○LOW-ΔP-FLOWシリーズ ○EL-PRESSシリーズ ○OEMソリューション ○LIQUI-FLOWシリーズ 他 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！ N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。
当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロールが可能になりました
『Z3000型』は、熱式微小流量計とモーターバルブを組み合わせた 微小流量コントローラです。 バルブユニットとコントローラユニットを一体型にし、小さいスペースで 取り付けが可能。 また、通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができます。 【特長】 ■1～25mL/minの微小領域のコントロールが可能 ■バルブユニットとコントローラユニットを一体型 ■小さいスペースで取り付けが可能 ■LED表示灯により、電源状態、流量制御状態、アラーム状態を確認できる ■通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
4つの電磁弁を遠隔操作可能！酸素濃度監視及び不活性ガスの投入流量コントロールに好適 Oxytron2000/Mini-ICS
● 各種プロセス設備のN2パージ量適正管理 ● 爆発限界管理で安全性向上 ● 国内防爆認定取得済 ■2重の安全を考えた設計で、センサーを2つ搭載し不測の事態に対処できる酸素濃度計です。 ■プロセス容器への不活性ガス投入流量のフィードバックコントロール機能付きです。 ■高温・高圧・不純物質に強く応答速度が速い、独自のピンホール式 ガルバニセンサーを採用した酸素分析計です。 ■適した不活性ガス投入流量をコントロールする事により、不活性ガスと 同時に排出されるVOCを削減できます。 ■酸素センサーの校正が完全自動で、センサーの交換時期予測や交換時期警報を出力可能です。 ■遠隔状態表示用3接点、工場設定4接点、ユーザー設定5接点付きです。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応！納期6-8週間。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
