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デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマスフローコントローラ
『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応！マスフローコントローラのご紹介
当社で取り扱う、大流量用マスフローコントローラ『MODEL HFC-303 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等（気体）、最大流量は100～1000SLM（気体）となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイド＋空圧2段バルブ（非通電時 閉） ■精度：±1%F.S. （25℃） ■許容周囲温度：5～45℃ ■電気接続：D-sub15ピン ■重量：約2400g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非回転構造で優れた制御性能！当社が取り扱う二次圧変動型気体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2412D SERIES』は、出口側(二次側)圧力変動に対して 一定流量を保持できる製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 調節ネジ回転数は約12回転。また、最高使用温度は60℃です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～20L/min ■制御精度：負荷圧力変動に対し1%指示値以内の変動(入口・出口差圧0.05MPa以上) ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微少流量から制御可能！当社が取り扱う液体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2600-PPS SERIES』は、圧力変動に対して一定流量を 保持できる製品です。 接流体部材質はPPS(ガラス30%入り)、SUS316、FKM、FFKM、 PTFEとなっており、使用温度は15～50℃。 また、使用圧は0.1～0.5MPa(G)で、微少流量から制御できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFC！EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
『MODEL ST-500 SERIES』は、PI機能(Pressure Insensitive 圧力鈍感性)を 備えたマスフローコントローラです。 流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を 変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、 圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能。 半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに 適しております。 【特長】 ■圧力変動に対し安定した流量制御が可能(ST-500のみ) ■DeviceNet、EtherCAT、RS485(ST-550のみ)通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～100％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フジキンのFCSは、ながれ(流体)制御技術を常にリードします！
フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。
低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック／ULVAC】
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量 約8kg ○ユーティリティー AC 85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 60W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
インダストリアル環境に適したIN-FLOWシリーズ
IN-FLOWシリーズのマスフローメータ/コントローラはインダストリアル環境下でのパイロットプラント又は生産プラントでご利用できるよう堅牢なデザイン(IP65)になっています。 【特徴】 ○流量レンジ 0-0.7 mln/min から 1670 ln/min （Air換算流量） ○一般工業用の堅牢なIP65ハウジング ○８種類のガスカーブをメモリーできるマルチガス・マルチレンジモデル 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高精度及び高繰返し性 高圧対応；400 bar
EL-PRESSシリーズ圧力メータ/コントローラはコンパクト、スルーフロー型で、圧力レンジ2～100mbarから8～400barまでのレンジが絶対圧及びゲージ圧で提供されます。 差圧計もレンジ2～100mbarから0.3～15barで提供いたします。 圧力コントローラは高精度、高繰返し性能を有します。 前圧制御か後圧制御かをご指定ください。 【特徴】 ○高精度及び高繰返し性 ○高圧対応；400 bar 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
酸素濃度を連続監視・制御！可燃性ガスにも対応するO2コントローラー
「MC-9G/8Gシリーズ」は、酸素濃度の測定と制御用に開発したコンパクトなO2コントローラーです。 ワンタッチ自動空気校正や、豊富な制御出力などの使いやすい機能を搭載しました。 測定値を無線通信できるため、制御室、クリーンルームなどの密室間でも測定値を監視することができます。 【特徴】 ○7種類の制御出力で自由自在にコントロール ○自己診断機能で安心管理 ○ワンタッチ自動校正 ○充実のデータ取得性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高速応答非接触・放射温度計とコントローラーを一体化した光ファイバー式温度コントローラー
スムージングやインターバル時間でのピーク表示など加熱状態に応じたフィルターをセットすることで様々な加熱制御が可能。設定・タイマー・放射率を8パターンメモリーなど 最速0.05secの高速応答で制御が可能。 センサーヘッドはL-1000シリーズと共通なため豊富なバリエーションの中よりセレクト可。 【特徴】 ○DIN144サイズでパネルにも取付ができ 光学系のセンサーヘッドは小型なので設置スペースに困らない ○ダイレクトSVキーの採用で技術者の目で捕らえた温度をワンタッチで記憶・再現 ○最速0.05secの高速応答で制御ができる ○設定、タイマー、放射率を10パターン メモリー可能 ○内臓ビームでターゲットを簡単に確認できる ○0〜10Ｖ、4〜20mAの出力ZERO・SPANで任意にスケーリング可能 RS- 232C出力も標準で装備 ○タイマーを内蔵しているのでシステムオペレーションが簡単にできる ○測定距離と測定面積に応じて豊富なセンサーヘッドをご用意 ○リレー出力は１パターンにつき4点設定可能
粉粒体供給機用流量制御コントローラー
インテコントターサスは、ロスインウェイトフィーダ、ウェイベルトフィーダ、マルチコア、ベルトウェイヤーのコントローラとしてご使用頂けます。 DeviceNet及びEthernet/IP接続が可能。
1nm分解能で位置決めステージを制御！
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。
手元で簡単操作 位置決め対象を見ながら操作ができる
位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。 ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。
ラインセンサ用照明に最適なDC24Vタイプ
【IWDV_24シリーズ】は、DC24V駆動、消費電力300Wの大型照明にも対応する高機能定電圧コントローラ。出力下限電圧の設定により照明に応じて好適な調光範囲を選択でき、外部調光制御はEthernet／パラレル通信をスイッチで切替可能。
