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微妙なズレが、膜厚のムラに繋がる！様々な課題の解決を当社がお手伝いします
『スピンコーター』は、高品質の塗膜を効率よく均一に生成できる手段です。 しかしデリケートな基板、薬液であればあるほど少しの変化で膜厚を均一に することができなくなり、微妙なズレが膜厚のムラに繋がってしまいます。 こうした問題の解決には、製品自体の性能を上げることなどが有効。 当社では、お客様が抱える様々な課題に対して、長年培ってきた経験を 生かしたお手伝いが可能です。是非ご相談ください。 【解決方法の例】 ■連続運転におけるカップ内温度の上昇による膜厚変化を抑えたい ⇒スピンドル部をチラー水で冷やす ■基板が薄く模様のように吸着跡がついてしまう ⇒吸着穴をごく小さくしたり穴位置をずらす ■角基板四隅の不均一な膜厚に困っている ⇒密閉式試料台を活用する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-600AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの『自立型スピンコーターACT-600AII』はφ400mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-600AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
