更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に最適！
簡易型スピンコーター「SC4002」は、化合物の溶液から薄膜を生成するための装置です。 真空蒸着装置では成分が分解してしまうため、薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に適しています。 使い方は中央の回転体の上部に基板となる材料（ガラスや金属）をセットし、ポリマーや化合物など溶媒に溶かしたものを、その上に滴下します。 スイッチを入れ、適当な回転数をセットすると中央部分が回転を始め、数十秒が経過すると溶液が振り落とされ薄い液膜になります。 このとき溶媒も揮発することによって、基板には非常に薄い膜が形成されることになります。 【特徴】 ○簡単設定、小型 ○2段回転速度MAX4000RPM ○二重構造になっているため、内皿は取り出して洗浄出来る 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ホットメルト用ロールコーター
長年の光ディスクへのホットメルト塗工により 培ったノウハウを取り入れた、高性能ホットメルト用ロールコーター 【特徴】 ○ウォームアップ時間が短い ○オペレーションパネルとメカスイッチの併用による多彩な操作性 ○新発想による塗布量の安定性と再現性を実現 ○高粘度樹脂にも対応 ○塗布基材に応じた多様な塗布が可能 ファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作できます！ ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
少量塗布から多量塗布まで、塗布基材に応じた多様な塗布が可能。最大1600mm幅まで塗布が出来ます。ご希望の仕様にカスタム可能！
長年の光ディスク（DVD）接着で培ったノウハウを取り入れた ロールコーターです。 光ディスクでは１０μ±０．５μの精度で塗布を行っています。 塗布幅は標準として１６００ｍｍまで可能です。（仕様による） 少量塗布から多量塗布まで、塗布基材に応じた多様な塗布が出来ます。 ロールコーターだけでなく、お客様の要望に応じた一括システムとしてもご提案させて頂きます。 ＊自動供給装置 ＊前後コンベア装置 ＊自動貼合装置 ファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作できます！ また、接着剤の選定でお悩みの方も相談を承っております。
ファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作できます！
長年の光ディスク（DVD）接着で培ったノウハウを取り入れたホットメルト用ロールコーターです。 光ディスクでは１０μ±０．５μの精度で塗布を行っています。 塗布幅は標準として１６００ｍｍまで可能です。（仕様による） ファストラボ室にて最大塗布幅１０００mm対応のテスト機で試作可能です。 少量塗布から多量塗布まで、塗布基材に応じた多様な塗布が出来ます。 仕様はお客様の希望に応じてカスタマイズが可能です。 詳しくはお問い合わせください。 試作・テスト・サンプル作成依頼等もお気軽にご相談ください。
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製できます（例、2・4インチ、6・8インチなど）
2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質半分になります！ もちろんスピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準搭載しています。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■複数インチサイズウエハの兼用（段取り替えなし） ■自動ウエハサイズ認識での自動運転 ■低価格を実現 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ツインエアー方式！独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し
『Twin-air』は、極微量滴下を可能にしたツインエアー方式の 高精細ディスペンサーです。 ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減。必要な位置に、必要な量を、 高精度にコーティング可能です。 また、ウエハ全面にパッシベーション厚膜コートを実現し、様々な高粘度液剤の 塗布に対応しています。 【特長】 ■ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能 ■モジュール／チップレベルのダイレクト・コーティング ■エッジカット処理（リンス工程）不要、廃液ゼロ ■ガードリング形成・局所コートでフォトリソ工程不要 ■数十～70万cps以上という低～超高粘度まで対応 ■吐出中の液流、着液前後のモニタリングが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
操作が簡単！薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能
『卓ダイ』は、一人で全ての塗工操作ができるスリットダイコーターです。 スリットはシムを使用しない固定タイプで再現性があり、ダイは 3ピース構成、取外しが容易であり、液替え時間は約20分。 液供給部が塗工幅と同一な為、平行流状態で液吐出が可能です。 この他に、A4サイズの基材に瞬時に再現性よくスプレー塗工する装置 「簡易スプレーコーター」も取り扱っています。 【特長】 ■操作が簡単で、一人で全ての塗工操作が可能 ■塗工液量数CC塗工可能（タンク、ポンプ等が無い） ■液供給部が塗工幅と同一な為、平行流状態で液吐出が可能 ■ガラス、フィルム等どんな基材にも全面吸着可能な定盤を使用 ■スリットはシムを使用しない固定タイプ、再現性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お手軽で簡単！手動式バーコーター。色見本や評価用サンプル作りのツールとして活用頂けます。
・ Wet 膜厚４～５００ｕｍに対応。 ・少量の材料で誰でも簡単に素早くサンプル作成が可能です。 ・番手変更することで、異なる膜厚のサンプルも簡単にできます。 ・専用の印刷台を使用することで、高い再現性が得られます。 ・サンプル作成に実機を使用する場合がありますが、大量の材料を使用し、準備や段取り、後片付けに膨大の時間を消費しますが、バーコーターなら必要ありません。 ・実験用の塗布機として、フィルムアプリケーターなどがありますが、塗布幅が狭く、たわみやすい材質への塗布は困難です。 ・バーコーターは幅約３００ｍｍまで塗布でき、たわみやすい銅箔やアルミ箔、プラスチックフィルム、紙、布などに塗布でき、塗工液も塗料、インキ、接着剤など様々な塗料に対応できます。 カタログダウンロードはこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/catalogs/ 製品詳細はこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/products/k-hand-coaters/
【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。
φ2 ～φ6 基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付
MSC-300型は、φ2 ～φ6 基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！
MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
対象ワーク：2 □～5 □基板又はφ２ ～φ５ 基板に適用！
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2 □～5 □基板又はφ２ ～φ５ 基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
高速ゲートロールコーター
実機のコーターでの操作条件に近づけたことにより、多種多様の実験結果が得られます。また試験研究用としてコンパクトにまとめ安全性を重視したテストコーターです。
開発専用として、少量の塗工液、シートでサンプル試作が可能なコーター
綾瀬研究所NCR-230と同じく開発専用として、少量の塗工液、およびシートでサンプル試作が可能なコーターです。
