スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター
【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業:ジャパンクリエイト株式会社
- 価格:応相談