大型基板用レジストコータ
チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット
当社で取扱う大型基板用レジストコータのご紹介です。 大型基板に対応したレジストスピンコートユニットです。 チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れ、 大型の基板に対応した自動搬送機付のモデルも御提案できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ソフエンジニアリング
- 価格：応相談
レジストコータ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
レジストコータの製品一覧
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レジストコーター
量産対応・少量生産対応！レジスト塗布・ベーク・冷却の一連の工程を自動で処理するシステム
当社で取り扱っている「レジストコーター」についてご紹介いたします。 ご要望に応じて、手動仕様での製作にも対応。 ワークサイズはΦ2"～12"ウェハ、100□～320□mm角基板に 対応しております。 ワーク材質はSi、SiC、GaN、GaAs、InP、LT/LN、 セラミック、水晶、樹脂、ガラス等。塗布材粘度は 100CP～8,000CPです。 【仕様(一部)】 ■ワーク搬送：多関節クリーンロボット 裏面吸着方式 ■二段カップ(上段：レジスト、下段：リンス) ■レジスト液：フォトレジスト、ポリイミド系(キャニスター内蔵可能) ■ベーク：90℃～120℃±1℃(プロキシミティ/コンタクト選択) ■クールプレート：10℃～25℃(プロキシミティ/コンタクト選択) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社LC 立川本社、青梅工場
- 価格：応相談
ミニマル
0.5インチウェーハに対応させるための独自のレジスト処理方法を搭載！
当社では、ミニマルファブ技術研究組合に参加し、ミニマルの レジストコータ及びデベロッパの開発を行っています。 ミニマルファブは、世界中で使っていただける柔軟な汎用性と 超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。 研究開発、試作、少量多品種生産向けに、必要な生産量や目的に 合わせた設備規模や投資額に抑えられます。 【ミニマルコータ/デベロッパ 仕様】 ■基板：0.5インチウェーハ ■基板搬送 ・ミニマルシャトル＆搬送システム PLAD ・独自の局所クリーン化技術によりクリーンルーム不要 ■装置サイズ：294mm(W)×450mm(D)×1,440mm(H) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：リソテックジャパン株式会社
- 価格：応相談
セミオートレジストコーター
レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております
当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。 ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。 チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、 レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、レジスト塗布装置、塗布装置、塗布ムラ、低価格、フォトリソ工程、枚葉基板洗浄機、枚葉スピン洗浄機、表明処理、ウエハ洗浄装置
- 企業：株式会社ソフエンジニアリング
- 価格：応相談
