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ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。
マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。
塗料顔料の塗膜作成用に！膜厚に合わせたサイズ多種あり！
・塗料、顔料等の一定厚の塗膜を作製する製品です。 ・試験板に試料を帯状に広げ、回転させずに手前に均等な速さで引きます。 ・紙、フィルム、金属箔等の比較的たわみ易い材料や広い面積に塗布するのに適しています。 ＜参考規格＞JIS-K5101、(5400) ※仕様は予告なく変更する可能性がございます。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【カタログダウンロードについて】 下記関連リンクまたはお問い合わせからカタログ請求をお願いいたします。 ※単品カタログがない製品については総合カタログを請求ください。
業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板：Max250mm□
業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
ドラム断面形状を従来の円形から多角形にすることにより、メンテナンス性を高めたドラム式コーティング装置です。
ドラムコーター『DMC－H型』は、投入口から入った原料を、高分子シート貼りの傾斜した回転ドラム内をセルフクリーニングしつつ、投入量に適応した回転運動をしながら出口方向に移動していきます。 【特長】 ■多角形ドラムで内部付着を軽減 ■ドラム内面が平面なので、付着物を簡単にかき取ることが出来る ■回転ドラムを傾斜設置し、強制送り機構を持たない ■ドラム内面を高分子シートでライニングしてあるので、メンテナンスが容易 ■ドラム回転は、インバーターで制御。原料物性や流量に適した回転数が設定可能 ■精密添加ノズルは、２流体特殊ノズルを使用し安定した糖蜜や油脂の微細粒添加が可能 また、回転運動しながら移動している原材料は、互いに混合と表面糖蜜の移動を繰り返し均一にコーティングされて排出します。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。
0.5インチウェーハに対応させるための独自のレジスト処理方法を搭載！
当社では、ミニマルファブ技術研究組合に参加し、ミニマルの レジストコータ及びデベロッパの開発を行っています。 ミニマルファブは、世界中で使っていただける柔軟な汎用性と 超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。 研究開発、試作、少量多品種生産向けに、必要な生産量や目的に 合わせた設備規模や投資額に抑えられます。 【ミニマルコータ/デベロッパ 仕様】 ■基板：0.5インチウェーハ ■基板搬送 ・ミニマルシャトル＆搬送システム PLAD ・独自の局所クリーン化技術によりクリーンルーム不要 ■装置サイズ：294mm(W)×450mm(D)×1,440mm(H) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
プロの塗工が誰でも簡単に再現可能！摺動性能アップのためリニューアルを実施しました。
※製品の問い合わせは弊社HPからお問い合わせください。https://www.mitsuiec.co.jp/ ★卓上コーターは弊社の製品名です★ 卓上コーター『TC-3S型』は誰でも同一条件・同一結果が得られる平版塗工機。 摺動性能向上のため内部構造をリニューアルしてより精度の高い塗工機になりました。 試作品の品質向上や、同一条件の塗工が求められる現場に好適です。 リチウムイオン等の二次電池等を主に、電極材やデバイスなど試作時にも多く使用されています。 【卓上コーター『TC-3S型』の特徴】 ■誰でも簡単に職人技を再現可能 ■ガイドレール採用で摺動性能大幅アップ ■低速での安定塗工を実現 ■試作・研究などに好適 ■ガラス台を採用し、丸洗いが可能 ■用途に合わせた特注製作にも対応 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
A-Barは寿命が長く、洗浄性が非常に高いバーコーターです
※製品の問い合わせは弊社HPからお問い合わせください。https://www.mitsuiec.co.jp/ A-Bar（ワイヤーレスバーコーター）はワイヤーが巻かれていないことが最大の利点で、洗浄性が高く目詰まりしにくい形状のため寿命が長いバーコーターです。 ワイヤーバーからの買い替えの際にご検討いただき、効果をお試しください。 【特徴】 ◆ワイヤー内の目詰まりが無い ◆洗浄性が良い ◆目詰まりが無いため寿命が長くなる。 ◆ワイヤーが切れてしまう事例が無い
塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行えます！
『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。 塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。 また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。 トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。 【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤を使用可能 ■粒径の大きい固形物が混合されている材料も使用可能 ■排気、廃液処理が最小限のシステムで対応可能 ※詳しくは「ダウンロード」より製品カタログをご覧下さい。
レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております
当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。 ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。 チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、 レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、レジスト塗布装置、塗布装置、塗布ムラ、低価格、フォトリソ工程、枚葉基板洗浄機、枚葉スピン洗浄機、表明処理、ウエハ洗浄装置
試料の上面、側面などや、複雑な試料にも奥深く均一にコーティング可能！
試料表面の導電被膜形成処理として、金属オスミウム（Os）の極薄膜 コーティングを行います。 熱ダメージもなく、nm単位の膜厚を高い再現性で成膜可能。 また、試料表面に膜由来の形状が現れず、表面形状観察やEBSD測定への 前処理に用いることができます。 繊維構造を有するサンプルの表面観察では、オスミウムコートでは、複雑な 構造でもチャージアップなく観察できました。 【特長】 ■チャージアップのない極薄膜の形成 ■再現性の高い膜厚制御 ■粒状性のない膜 ■熱ダメージのない成膜 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
本装置は、研究開発用途の小型スピンコーターです。
低価格ながら、高性能、高生産性を備えております。 サイズはコンパクトで、重量もわずか18Kgなので、持ち運びも楽です。 マイコン制御により、安定した動作とシンプルなプログラミングが可能です。
9つのステップを持つ9つのプリセット編集可能プログラムのメモリが搭載！
『HO-TH-05』は、研究室で小型基板をスピンコーティングするための 専用卓上システムで、スピンプロセスパラメータが適切に制御されています。 高速で持続時間範囲が広いため、ユーザーはフィルムの希望の厚さまたは 薄さを実現でき、スピンヘッドアクチュエータは高精度のDCサーボモーターで、 メンテナンスが少なく、正確な回転速度と加速度制御が可能です。 また、オイルレス真空ポンプで駆動する真空チャックが、基板をスピンヘッドに 吸着保持します。 【特長】 ■チャック径：14mm、22mm、36mm(Oリング外径) ■透明な観察窓付き安全蓋(塗布材料滴下用穴Φ28mm付き) ■不揮発性プログラムメモリ ■ユーザーフレンドリーな設計 ■LCDパネルバックライト電源オン/オフスイッチ ■不活性ガスパージ用の入口と出口、外径8mmチューブ接続 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型ドクターブレード式薄膜作製装置
ドクターブレード式薄膜アプリケーターは、液体またはスラリー状の材料を基板上に均一に薄く塗布するためのツールおよび技術です。比較的シンプルでありながら汎用性が高く、様々な研究室や産業現場でコーティングや薄膜を作成するために広く利用されています。 基板を設置するための真空吸着機能付きステンレス製ホットプレートを備えています。温度設定は前面パネルのデジタルPIDコントローラで行います。膜厚設定は、マイクロメータを使用して基板とドクターブレード間の隙間を調整することで行います。スラリーを基板に滴下し、内蔵の電動移動ステージを使用してボタンを押すだけでブレードを水平移動させることができます。速度と移動量は前面パネルのノブで設定し、LEDディスプレイにデジタル表示されます。
バックアップロールなしのスロットダイコーディング！精度や汚れの影響がないFSDコーター
当社では、wet 1μm塗工が可能な『FSDコーター』を取り扱っております。 バックアップロールなしのスロットダイコーディングが可能。 低速～高速まで幅広い塗工速度範囲に適応します。 バックアップロールを使用しないため、ロールの精度や汚れの 影響がありません。 【特長】 ■バックアップロールなしのスロットダイコーディング ■wet 1μm塗工可能 ■高精度膜厚分布 ■バックアップロールを使用しないためロールの 精度や汚れの影響がない ■低速～高速まで幅広い塗工速度範囲に適応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度塗工が容易に可能！構造がシンプルで扱い易いマイクロバーコーター
当社では、少量サンプル塗工が可能な『マイクロバーコーター』を 取り扱っております。 構造がシンプルで扱い易く、高精度塗工が容易に可能なほか、 塗工巾調整が簡単に行えます。 粘着製品をはじめ、経皮吸収医薬品や文具製品、自動車関連などに ご使用いただけます。 【特長】 ■高精度塗工が容易に可能 ■構造がシンプルで扱い易い ■塗工巾調整が容易 ■中～高粘度粘着剤塗工 ■少量サンプル塗工が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メンテナンス性の向上！カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター
当社では、特殊カップリングの採用した『高精度コーター』を 取り扱っております。 塗工液粘度範囲は1～50,000(mPas)、塗工厚み範囲は1～(μm wet)です。 カセットチェンジ機構に対応し、メンテナンス性の向上が 図れます。 【特長】 ■高精度モーターの採用 ■特殊カップリングの採用 ■高精度軸受の採用 ■カセットチェンジ機構に対応 ■メンテナンス性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
転動流動層理論を用いた画期的なフイルムコーティング造粒装置。スピラコータ。
スピラコータは多数の特許による確かな技術により、理想のフィルムコーティングを実現させた、まさに画期的な『転動流動層コーティング造粒装置』です。従来の装置には、小粒子の張散層内での粒子摩耗などの欠点があり、特にコーティング操作では粒子の二次凝集が生じ易く、粒子径に限界がありました。
高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あらゆる性能をパワーＵＰしました！
電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。 これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、驚きの低価格も実現。オスミウムコーティングにご興味のある方、オペレーションに不安のある方、是非当社のオスミウムコーターをご検討ください。テスト成膜、デモの依頼も随時承っております。
ＥＤＳ（ＥＤＸ）・ＥＰＭＡ・ＸＭＡ用導電処理・ＦＩＢ用保護膜作成・カーボン補強などが可能です。
VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火傷する心配はありません。 省スペース、低価格を実現。
スポットコーティングができます。 省エネ効果、カールも防げる、UVラミネート専用加工機
本機は、枚葉印刷紙にUV塗料を塗り、フィルムを用い様々な表面加工を施す機械です。ラミコート加工は省エネで環境に配慮した新しい加工方法です。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
プレスコート以上の高速加工を実現！塗料を塗るだけで平滑で見事なツヤを得ることが可能
弊社は紙面の表面加工をメインに機械製作しておりましたが、 このリバースコーターは、ガラス、プラスチック、皮、木材など、 平面であれば、平滑に塗ることができます。 【特徴】 リバースロールコーターを採用し今までのロールコーターには無かった、 見事な平滑性素材を与えます。 グロス処理、マット処理など様々なUVニスを使用していただけます。 チャンバー式なので液の泡立ちが少ないので仕上がりがきれいです。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
複数のゲルコート色を簡単操作で変更することが可能！全体としてコンパクトな設計の装置です
『MIPG-24/HV』は、旧「MIPG 24/HV」をさらに進化させた多色 ゲルコーターです。 新デザインはコンパクトで、ガン先スタティックミキサーで材料を混合し、 吹き付け塗布が可能。ガン先混合により、最大限の材料歩留まりを実現しました。 高品質なゲルコート作業に適し、材料全体の歩留まり、シンプル操作、 メンテナンス性、安全かつ作業環境を考慮したシステムとなっています。 【特長】 ■硬化剤比率を無段階調整可能 ■樹脂・硬化剤循環システム ■樹脂消費量の削減 ■溶剤＋エアーパージ機構での完全洗浄 ■材料の高歩留まり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
枚葉サンプルを簡単・手軽に製作可能！簡単操作の高精度シートタイプコータ
『βCoater』は、枚葉試作サンプルが簡単・良好に作成できる単板コーターです。 リニアモータ駆動方式を採用しており滑らかな動きで横段が発生しません。 「手塗りより安定したいサンプルを作りたい」 「ロール・トゥ・ロール機での試作前に事前評価したい」 といったニーズに応える汎用テスト機です。 ショールームにてデモも可能です。詳しくはお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■タッチパネルによる簡単操作 ■リニアモータ駆動による優れた平滑性 ■開発段階でのサンプル試作用途に多数実績有り ■手塗りよりも安定したサンプル製作が可能 ■塗工ブレードの交換、清掃が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動スプライス装置も組み込み。
無溶剤塗工の為の４本オフセットグラビア装置とマイクログラビア方式を搭載し、大型の電子線硬化装置の利点を活かした高速設備。 【特徴】 ○塗工方式：マイクログラビア、オフセットグラビア ○ライン速度：～400m/min ○塗工巾：1600mm ○駆動方式：ベクトルインバーターセクショナルドライブ方式 ○乾燥方式：エレクトロンビーム硬化
連続塗工の他、表裏の見当合わせと連動したパターンの塗工も可能です。
リチウムイオン二次電池の電極生産用スロットダイ・コーター。パターン塗工と表裏の見当合わせ塗工が可能。塗工巾300mmの狭巾用生産機もあります。 【特徴】 ○塗工方式：スロットダイ・パターン塗工 ○ライン速度：1～8m/min ○塗工巾：300～600mm ○駆動方式：ACサーボモーターセクショナルドライブ方式 ○乾燥方式：ロール支持アーチ型、熱風温度 200℃ Max
マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形可能！多彩なオプションで自由にカスタマイズ
『ミニラボ（Mini-Labo）』は、海外で多数実績のある 卓上型テストコーターです。 マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形が可能。 手塗のステップアップ、エントリーモデルとして手軽に導入でき、 家庭用電源に対応しております。 【特長】 ■海外で多数実績あり ■マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形可能 ■手塗のステップアップ、エントリーモデルとして手軽に導入 ■家庭用電源に対応 ■多彩なオプションで自由にカスタマイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源でOK！工事不要で手軽に導入可能です。※塗工のデモも承ります
『ミニラボ（Mini-Labo）』は、国内のみならず国外の開発現場でも 100台以上の販売実績を持つ、卓上サイズの超小型テストコータ―です。 低粘度塗料の薄膜塗工に適した「マイクログラビア方式」を標準採用。 オプションで中～高粘度向けのスロットダイ方式の増設も可能となります。 ■現在、手塗りしているのでステップアップしたい ■Wetコーティングを始めてみたい など、ロールtoロールコーターとしては低価格でこれから導入したい企業様に エントリーモデルとしてもお勧めです。 【納入業界事例】 電池、コンデンサ、液晶、生活資材、建材のWetコーティング領域や、 国内の化学メーカーや研究機関などのラボや、プロジェクトでの導入、 国外のベンチャー企業、大学、研究機関へなど豊富なオプションで幅広く対応。 スピードが求められる開発現場のニーズにお応えすべく、 最短3ヶ月で出荷が可能です。 ※PDFにてカスタム事例もご紹介中。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。
「高粘度用スリットコータ」は、スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。 ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に適しています。 高粘度液の粘度特性を利用し、スリットノズル、高精度ステージを加熱した高精度塗布を実現。 スリットノズル先端の自動洗浄機能により生産性を向上させることができます。 【特徴】 ○均一性に優れた塗布精度の高いレジスト塗布装置 ○ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に最適 ○スリットノズル先端の自動洗浄機能で生産性向上 ○塗布均一特性を維持向上しながらレジスト液の消費量を削減 ○優れた操作性・メンテナンス性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
水性材料や中高粘度の溶剤系接着剤の原液をつまりや糸ひきなく薄膜スプレー可能で選択的に部分塗布する画期的スプレーシステム
新たに開発したFSCC06セレクトスプレーガンは、特に液づまりしやすい水性エマルジョン材料や、中粘度の溶剤系材料の原液を液づまりや糸ひきなく低吐出量で１０～７０μｍの安定した成膜が出来ます。水性材料等も２０μｍ前後の成膜を所定の場所に見切り塗布工法で限定塗布も可能なため、乾燥時間も溶剤系塗布材料並に短縮可能となり、従来発泡が問題になりやすい材料もNon Bubbleで問題なく成膜jできる画期的スプレーシステムです。（実用新案登録済、韓国特許取得済） また溶剤系接着剤や防湿絶縁材を原液（２００～５００CPS程度）で糸ひき（エンゼルヘアー）を発生さずに塗布する工夫が施されております。 動画→http://youtu.be/hIYDNrsM6QY
