MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター
2枚重ねが出ない構造になっています!
粗洗浄後の積み重なった、140μm~200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。
- 企業:マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格:1000万円 ~ 5000万円
1~2 件を表示 / 全 2 件
2枚重ねが出ない構造になっています!
粗洗浄後の積み重なった、140μm~200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。
有機EL等の基板製造装置に最適!
基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。