2枚重ねが出ない構造になっています！
粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
装置寸法 Size： W1100XD3550XH1500 ワーク Works： 粗洗浄後の太陽電池用シリコンウエハ 156±0.5ｍｍ、156.5±0.5ｍｍ125±0.5ｍｍ、126±0.5ｍｍ 厚み140μｍ～200μｍ
価格情報
お問合せ下さい
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
※受注後
用途／実績例
太陽電池シリコンウエハ粗洗浄装置の次工程に設置し、粗洗浄後のスタック状ウエハを水の中で自動枚葉化し、コンベア搬送にてキャリア収納する装置です。追加仕様にて仕上洗浄装置ローダー部への自動搬送が可能です。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
2009年7月経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。