シンプルデザインのマニュアルスピンコーター
◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ---------------------------------------- ＜仕 様＞ 試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー
この製品へのお問い合わせ
基本情報
◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ---------------------------------------- ＜仕 様＞ 試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー
価格情報
-
納期
用途／実績例
-
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
前工程(フォトリソ関連)装置各種、マニュアル式のスピンコーター(Si、液晶ガラス、化合物 他)など、試験研究用の装置から生産用自動装置各種を設計、製造、販売しております。 [半導体・液晶用試験研究開発、生産関連機器] 各種洗浄機（ウェット、ドライ）、スピンコーター、マスクアライナー、現像・エッチング装置、各種真空装置、プローバー、膜厚測定用ドリラー など