φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付
MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"～φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○ディスペンスアーム2本装備 →自動で塗布可能 【仕様】 ○外形寸法：W360×D435×H355mm ○モーター：200W ACサーボモーター 100V ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○塗布アーム：2本、ステッピングモーター駆動 ○塗布数：耐圧タンクによりN2圧送 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304 φ300絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。