大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコーター
アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。 対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。 対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。 是非ご相談下さい。 【特長】 ・研究～生産用と幅広く適合 ・10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載 ・非常停止ボタンを標準装備 ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【ACT-700AIIの仕様より一部抜粋】 ■基板サイズ：Φ5～Φ500mm （Max.Φ20インチ、□360ｍｍ） 基板対応 ■ワークの重量：ワークの重量についてはご相談ください ■外形寸法：W848(ダンパー・排気口含め983)×D962×H扉閉996(扉開1650)mm ■電源：電源とACサーボモータの出力は基板サイズと重量により別途決定 ■回転制御速度/回転精度：0～3000rpm/±2rpm以下 (負荷に応じて要相談） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
※目安3か月間、都度ご確認ください
用途／実績例
【用途】 半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ACT-600A II | Φ5～Φ400 （Max.Φ16インチ、□300ｍｍ） 基板対応 |
| ACT-700A II | Φ5～Φ500 （Max.Φ20インチ、□360ｍｍ） 基板対応 |
企業情報
ACTIVEはスピンコーター製品を主力に、お客様に合わせた特徴のある製品を設計・製作・販売しております。 アクティブのスピンコーター（スピンコート機）は課題に合わせてサイズが選べ、様々なカスタマイズが可能です。 機器を設置する場所がなかったり、ご予算が限られていたり、お悩みは千差万別です。そんな時、アクティブの小型・卓上スピンコーターなら必ずお役に立てます。 小型・卓上サイズであっても10ステップ・100パターン（事前にご連絡いただくことで、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）と多彩な試験設定が可能です。細かく設定することにより意図する動作環境を作り出すことができます。 スピンコーター本体の操作画面には、リアルタイムで回転数やバキューム圧力が表示され、状況を把握しやすいのも特徴です。 また、ご用途に合う試料台を使用することで能率も上がり求める塗膜を得やすくなる為、試料台もお客様ごとにご提案させていただいております。 まずは課題やご要望をお聞かせください。 ヒアリングを元に、お客様にあったスピンコーターをご提案させていただきます。