幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター
『FRC-500VT』は、幅600ミリまで対応のウェブコーターです。 PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。 巻き上げはフィードバック制御です。 ロールコーターは複数台納入し、ご好評頂いております。 その他スパッタリグ装置も多数手掛けております。 カソード用マグネットからターゲットの手配まで全てお任せください。 【特長】 ○セッティング性に優れている ○サーボによる細かな制御 ○シンプルな操作性 ○搬送時の滑り防止 ○カソードは引き出せ、ターゲットの交換も簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○到達圧力：10-5Paオーダー ○機材収容サイズ：500mm巾×200m（100μmの場合）最大外径φ250 ○送り速度：0.01～10ｍ/min程度（CW、CCW可能） →最低設定速度：0.01m/min ○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける →トルクはフィードバック制御にて行う →10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定 ○真空槽系 →材質：SUS304 →サイズ：W700×H1030×D800 前面開閉扉 ○機材送り機構 →回転速度可変用サーボモーター →巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター →真空シール回転導入部（磁気シール式） ○排気系 →ターボ分子ポンプ：2400L/sec（N2） →ロータリーポンプ：1200L/min ○ガス導入系：マスフローコントローラー O₂、Ar、N₂ ○操作：操作、設定はタッチパネルで行う ○装置寸法（専有面積）：約5000W×5000D×2000H ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社は1972年に「富士鉄工所」として創業し、当初は金属の加工を中心に活動して参りました。 1999年には名称を「富士アールアンドディー」に改め、日々刻々と変化する経済環境の中で、私共も少しずつ事業内容を拡げていきました。現在では真空技術を駆使した成膜装置等を中心に、装置の設計から組立、電装に至るまで一貫して社内で製造する事で、お客様へ付加価値を提供しております。企業様、大学様の開発・研究機関等への納品実績も多く、おかげさまで好評頂いております。今後も、従業員一同、妥協のない仕事を心がけ、質の高い製品を通じて、社会貢献していきたいと考えております。
