スリットコーター(200mm□用)
実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10 000cps ・膜厚:0.5~100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10 000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター
- 企業:ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年04月02日~2025年04月29日
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実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10 000cps ・膜厚:0.5~100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10 000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター
塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター
タッチパネルでの設定変更のみで塗布幅の変更が可能。 ダイやシムの交換にかかる段取り替えの時間を大幅に削減できます。
低粘度~高粘度まで対応可能。1~10,000cps。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ:400×500mm
〈精密スリットコーター〉 ・搬送駆動:リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・塗布供給方式:シリンジポンプ(独自の社内開発品) ・精密ステージ:石定盤(平坦度:10μm以下) ・低粘度~高粘度まで対応(数cps~10 000cps) 有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂etc
塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10 000cp 基板サイズ:G8サイズ ※塗布実験可能
【装置特徴】 対象基板:G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度:数cp~10000cp ・膜厚:1~100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ (インナーカップ方式対応可能) ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器
実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ:200mm□ ・レンタル期間:6ヶ月(MAX) ※薄膜から高粘度まで
レンタル専用スリットコーター! 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):200mm□×0.4~1.1mmt 対象ワーク:ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間:1ヶ月~6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10 000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶
スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。
「高粘度用スリットコータ」は、スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。 ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に適しています。 高粘度液の粘度特性を利用し、スリットノズル、高精度ステージを加熱した高精度塗布を実現。 スリットノズル先端の自動洗浄機能により生産性を向上させることができます。 【特徴】 ○均一性に優れた塗布精度の高いレジスト塗布装置 ○ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に最適 ○スリットノズル先端の自動洗浄機能で生産性向上 ○塗布均一特性を維持向上しながらレジスト液の消費量を削減 ○優れた操作性・メンテナンス性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能
日立ハイテクでは『曲面スリットコーター』を取り扱っております。 平面はもちろん、凹/凸面、凹凸、フレキシブルへ塗布が可能。 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた 角度に旋回できます。 曲面カバーレンズや、フィルムタッチセンサーなどに対応しています。 【特長】 ■最適化されたスリットダイ ■メンテナンスを考慮した設計 ■好適な気泡抜き設計 ■高粘度樹脂対応可 ■樹脂漏れ防止構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター
平面はもちろん、凹/凸面、凸凹面、フレキシブルな塗布が可能 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能