スリットコーター(200mm□用)
実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10 000cps ・膜厚:0.5~100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10 000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター
- 企業:ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格:応相談
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実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10 000cps ・膜厚:0.5~100μm
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10 000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター
塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10 000cp 基板サイズ:G8サイズ ※塗布実験可能
【装置特徴】 対象基板:G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度:数cp~10000cp ・膜厚:1~100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ (インナーカップ方式対応可能) ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器