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低粘度～高粘度まで対応可能。１～１０，０００ｃｐｓ。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ：４００×５００ｍｍ
〈精密スリットコーター〉 ・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・塗布供給方式：シリンジポンプ（独自の社内開発品） ・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） ・低粘度～高粘度まで対応（数cps～10,000cps） 有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂ｅｔｃ
実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタル期間：6ヶ月（MAX） ※薄膜から高粘度まで
レンタル専用スリットコーター！ 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶
