高機能フィルム製造用ロールコーター
スパッタ・CVD・蒸着の複合機
他社との違いは、BOC社とのライセンスにより、回転式カソード(ターゲット使用効率70%)とSiOx(C)フィルムを特殊なCVDによって成膜可能です。またラインスピードを2000倍まで可変可能です。
- 企業:株式会社マツボー
- 価格:応相談
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スパッタ・CVD・蒸着の複合機
他社との違いは、BOC社とのライセンスにより、回転式カソード(ターゲット使用効率70%)とSiOx(C)フィルムを特殊なCVDによって成膜可能です。またラインスピードを2000倍まで可変可能です。
高機能フィルム向けの高度にして繊細な薄膜塗工を実現するマルチコーターです。
コンパクトにまとめられた3つの塗工ヘッド、美しいサインカーブを描く非接触乾燥炉、きれいな膜上がり端面を実現するCOAST CONTROLS社製EPC(Edge Position Control)を搭載。