高機能フィルム製造用ロールコーター
スパッタ・CVD・蒸着の複合機
他社との違いは、BOC社とのライセンスにより、回転式カソード(ターゲット使用効率70%)とSiOx(C)フィルムを特殊なCVDによって成膜可能です。またラインスピードを2000倍まで可変可能です。
- Company:株式会社マツボー
- Price:応相談
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スパッタ・CVD・蒸着の複合機
他社との違いは、BOC社とのライセンスにより、回転式カソード(ターゲット使用効率70%)とSiOx(C)フィルムを特殊なCVDによって成膜可能です。またラインスピードを2000倍まで可変可能です。