更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に最適！
簡易型スピンコーター「SC4002」は、化合物の溶液から薄膜を生成するための装置です。 真空蒸着装置では成分が分解してしまうため、薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に適しています。 使い方は中央の回転体の上部に基板となる材料（ガラスや金属）をセットし、ポリマーや化合物など溶媒に溶かしたものを、その上に滴下します。 スイッチを入れ、適当な回転数をセットすると中央部分が回転を始め、数十秒が経過すると溶液が振り落とされ薄い液膜になります。 このとき溶媒も揮発することによって、基板には非常に薄い膜が形成されることになります。 【特徴】 ○簡単設定、小型 ○2段回転速度MAX4000RPM ○二重構造になっているため、内皿は取り出して洗浄出来る 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス・エイ・ピイ）は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです
高粘度レジストの塗布に強みを持っています！ 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です（保有特許：第3821468） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 デモ設備もありますので、ご興味があれば一度無償デモをご検討ください！
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコーターです。
回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！ 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、カスタム性の向上と低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 デモ設備は常設しておりますので、気になる方はデモ依頼やお問い合わせください。 【特長】 ■低価格を実現 ■カスタム性が高い ■自動サイズ認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）
ACサーボモーター採用。 高剛性の主軸部。 ワークを選ばない回転安定性。
2枚重ねが出ない構造になっています！
粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。
有機EL等の基板製造装置に最適！
基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。
【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。
φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付
MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！
MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
シンプルデザインのマニュアルスピンコーター
◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ---------------------------------------- ＜仕 様＞ 試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー
ディップスピンコーター 小型ディップスピンコーターのデモ機を開発いたしました。貸出可能です。
微細小物部品を対象とした浸漬方式の塗装装置です。 塗装物を冶具バスケットにセットし、装置に挿入しますと、後は自動で塗料タンクに浸漬コーティングします。 直ちにバスケットを遠心脱液しますので、良好な塗装膜が形成されます。
ディップスピンコータ―・ラウンドスプレーコータ―は小物部品の表面処理装置として最適！
本カタログは、各種コンベアおよび省力化設備全般の設計・製作などを行って いる株式会社エース設備の製品カタログです。 「DS300」、「DS450」、「RS300」、「RS600」など、小物・微小部品の 防錆処理装置として最適なディップスピンコーター・ラウンドスプレーコー ターを多数掲載しています。 また、貸出可能な小型ディップスピンコーターの「デモ機」もありますので、 お気軽にご相談下さい。 【掲載内容】 ■ディップスピンコーター DSシリーズ ■ラウンドスプレーコーター RSシリーズ など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「DS300」の実用型で生産用のディップスピンコーター！
『DS450』は、部品塗装後に取り出しが容易になる半自動反転排出装置付きを、 オプションにて選べるようになったディップスピンコーターです。 半自動反転排出装置は、処理後のパーツを台車などにボタン一つで 自動で反転（ないし手動反転）させることが可能なため、 重いパーツ類（ボルトやナット等々）の移動作業を行う作業者の負担を 大幅に軽減します。 【特長】 ■「DS300」の実用型 ■半自動反転排出装置付き（オプション） ■エアー式自動チャック方式 ■中型排気ファン ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：MAX２００mm□基板（対角300mm以内） ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
