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液溜まりや密着しやすい商品に最適！
『IDS』は、塗液侵漬後にバスケットを回転させ、部品の凹部から 余分な塗料を除去し、液溜まりや密着しやすい商品への対応が可能な ディップスピンコーターです。 塗料タンクはコンベアにて自動搬入出が可能。 部品処理量は製品1～15kg程度で、1回につき4～6分で仕上がります。 また、排気ファンは中型排気ファンを搭載し、オプションにて 防爆対応（サーボ除く）をお選びいただくことが可能となっております。 【特長】 ■液溜まりや密着しやすい商品への対応が可能 ■連続運転対応 ■エアー式自動チャック方式 ■中型排気ファン搭載 ■オプションにて防爆対応可能（サーボ除く） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター
多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。
業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板：Max250mm□
業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
業界初！小型コーター 回転数MAX8,000rpm！
1.小型・軽量 W180×D210×H200mm 約3.5Kg 2.主軸回転数 Max8000rpm 3.ワーク寸法 １インチ・2インチ・50mm□ 4.ワーク固定 内蔵真空ポンプによる真空吸引 5.ユーティリティー AC１００V 2.0A コンセント
本装置は、研究開発用途の小型スピンコーターです。
低価格ながら、高性能、高生産性を備えております。 サイズはコンパクトで、重量もわずか18Kgなので、持ち運びも楽です。 マイコン制御により、安定した動作とシンプルなプログラミングが可能です。
9つのステップを持つ9つのプリセット編集可能プログラムのメモリが搭載！
『HO-TH-05』は、研究室で小型基板をスピンコーティングするための 専用卓上システムで、スピンプロセスパラメータが適切に制御されています。 高速で持続時間範囲が広いため、ユーザーはフィルムの希望の厚さまたは 薄さを実現でき、スピンヘッドアクチュエータは高精度のDCサーボモーターで、 メンテナンスが少なく、正確な回転速度と加速度制御が可能です。 また、オイルレス真空ポンプで駆動する真空チャックが、基板をスピンヘッドに 吸着保持します。 【特長】 ■チャック径：14mm、22mm、36mm(Oリング外径) ■透明な観察窓付き安全蓋(塗布材料滴下用穴Φ28mm付き) ■不揮発性プログラムメモリ ■ユーザーフレンドリーな設計 ■LCDパネルバックライト電源オン/オフスイッチ ■不活性ガスパージ用の入口と出口、外径8mmチューブ接続 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコーター
米国ブリューワーサイエンス社製のスピンコーター『APOGEE』は、 回転精度の再現性、回転誤差ともに＜0.2rpmの高精度を備えた製品です。 独自のデータストリーム技術を採用し、 測定情報のリアルタイムなフィードバックが可能。 ステップ時間は0.1秒単位で設定でき、レシピの作成数に制限がありません。 測定環境の監視機能を搭載し、測定データの変換・読み込みも可能です。 【特長】 ■加速度は0～30,000rpm/sec（無負荷時） ■回転数は0～6,000rpm（オプションで12,000rpmも可能） ■底部からの排気・廃液ポートを装備 ■高密度ポリエチレン製テフロンボウルを使用 ※詳しくは資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【最小・最軽量クラス・簡単操作設定】 出張や移動に最適な軽量ハンディータイプで持ち運び簡単。 本体重量：３．3Kg
・R＆D向け 小型卓上スピンコーター ・安価な価格設定、コンパクト設計 ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ ・基板吸着テーブル：材質デルリン ※吸着テーブルは、本体標準装備品。(形状：サイズは要相談） ・吸着方式：真空ポンプによる吸着 ※真空ポンプは本体内蔵 ・独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。 (操作ボタン２箇所)・・・回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間 ※機械・装置操作が苦手な方でも簡単ボタン操作設定 ・使用電源1か所、本体のみ。AC１００電源 ２Ａ ・装置機種：２機種 labo-coat （１インチ用 ２５ｍｍ□） labo-coat-2（２インチ用 ５０ｍｍ□)
高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-220AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。 低価格ながら1分間の回転数を0～7000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラムで求める条件をだしやすいのも特徴です。 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能です。 インターロックセンサー付きで基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 ACT-220AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-200SM-S スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
『ACT-200SM-S』は、1,000～60,000rpm±1％以下（試料台Φ20実績値）の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。 薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保持となりますので、真空ポンプは必要ありません。 スピンコーターACT-AIIシリーズとは異なり、こちらの機種はカップサイズがφ200mmの1機種のみで、プログラムステップ数・パターン数が1ステップ・1パターン（回転時間設定は0.1-999.9secか1-9999sec）となります。 インターロックセンサー付きで回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、非常停止ボタンを標準装備と安全面にも配慮しています。 ACT-200SM-Sのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
注目度高し！ 試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300AII-H スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
最近お引き合いの多いアクティブの人気機種『ACT-300A II-H』は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。 基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能です。インターロックセンサー付きで基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。 こちらをベースにした特注（高速回転仕様を追加など）も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 ACT-300AII-Hのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
MAX12000rpm！高精度な高速回転スピンコート機ACT-300AII-HS スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。 粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。 こちらをベースにした特注（オプション追加）も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-300AII-HSのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコーター
アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。 対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。 対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。 是非ご相談下さい。 【特長】 ・研究～生産用と幅広く適合 ・10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載 ・非常停止ボタンを標準装備 ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの『卓上型スピンコーターACT-400AII』は□150mm、φ200mm基板まで対応するコストパフォーマンスのよい手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000（基板サイズ等の条件が合えば6000rpmも可能）の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-400AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-450AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの『卓上型スピンコーターACT-450AII』はφ250mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000（ワークによっては6000も可能）の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-450AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
□220mm、12インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-500AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの『卓上型スピンコーターACT-500AII』はφ300mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。 1分間の回転数を0～5000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 作業高さの関係で卓上型が可能な最大カップサイズとなりますが、ご希望の仕様によっては専用架台付、自立型としたほうが使いやすい場合もございます。その際はお見積りにてご提案いたします。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-500AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
生産性UP！ 4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-4axis スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。 処理する基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-220AII-4axisのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
お客様に合わせた特長のある製品を設計・製作・販売！アフターフォローも万全です
株式会社アクティブは、お客様の新技術をワンストップでサポートする 製造メーカーです。 「ACT-220A II」をはじめ、「ACT-300A II」や「ACT-400A II」など、 当社の主力製品である様々なスピンコーターをご提供。 当社の製品開発力により、お客様の要望・仕様に合わせたカスタマイズも 承ります。ぜひご相談ください。 【当社だからできること】 ■ご要望・課題に、ヒアリング力・課題解決力をもって取り組む ■既成の概念にとらわれない新しい提案を行う ■アフターフォロー体制が充実しており、日本全国、スピーディな対応が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単に思い描く環境を実現！課題や要望に合わせて細かな設定をすることができます
『スピンコーター』とは、高速回転の遠心力を使い平面な基材に塗膜を 構成させる装置です。理想通りの塗膜を得るためには、回転プログラムの 構築が重要となります。 当製品は、現在抱えている課題や要望に合わせて細かな設定をすることが可能。 1ステップの動作で“回転数”、“加減速時間”、“キープ時間”を 同時に設定でき、簡単に思い描く環境を実現いただけます。 【当社製品の特長】 ■現在抱えている課題や要望に合わせて細かな設定ができる ■10ステップ・100パターンで様々な条件の設定が行える ■必要なオプションを追加したり、特注カスタマイズすることにより 優れた動作環境を作り出すことも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微妙なズレが、膜厚のムラに繋がる！様々な課題の解決を当社がお手伝いします
『スピンコーター』は、高品質の塗膜を効率よく均一に生成できる手段です。 しかしデリケートな基板、薬液であればあるほど少しの変化で膜厚を均一に することができなくなり、微妙なズレが膜厚のムラに繋がってしまいます。 こうした問題の解決には、製品自体の性能を上げることなどが有効。 当社では、お客様が抱える様々な課題に対して、長年培ってきた経験を 生かしたお手伝いが可能です。是非ご相談ください。 【解決方法の例】 ■連続運転におけるカップ内温度の上昇による膜厚変化を抑えたい ⇒スピンドル部をチラー水で冷やす ■基板が薄く模様のように吸着跡がついてしまう ⇒吸着穴をごく小さくしたり穴位置をずらす ■角基板四隅の不均一な膜厚に困っている ⇒密閉式試料台を活用する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-600AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの『自立型スピンコーターACT-600AII』はφ400mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-600AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。
【装置ラインナップ】 スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】 ・10mm□～G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜（1～500μm程度）まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度（数cp～5,000cp）まで、塗布の均一を維持向上致します。 ・お客様の用途、環境に合わせて設計・製作致します。 【テスト対象基板、ワーク】 ・ガラス：10mm□～G6基板サイズ ・ウエハ：2インチ～Φ300mm ・機能性フイルム：MAX400×500mm 塗布材料、粘度 ・各種薬液：レジスト、インク、ペースト、樹脂系 ・粘度：数cp～5,000cp ・膜厚：1～500μm 【主要用途、実例】 ・大学、研究開発機関、産総研 ・半導体、液晶、有機ＥＬ、タッチパネル ・機能性フィルム ・素材、材料開発 ・精密部品、光学部品 ・医薬品、化粧品研究用途
短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50mm□シートから700mm幅原反まで対応。
【特徴】 ・短納期 ・小ロットでも対応可能です。 ・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの 特注など柔軟に対応いたします。 【設備ラインナップ】 ・洗浄 ロールtoロール式洗浄 スピン洗浄 炭化水素洗浄 減圧乾燥 ・コーティング スリットコーター スピンコーター ロールコーター スプレーコーター ・表面処理 大気圧プラズマ処理 エキシマUV照射 UV硬化装置 ・ラミネート、貼合せ ラミネーター 貼合せ装置 ホットプレス 真空プレス ・付帯設備・測定器材 非接触式膜厚計、光学顕微鏡、分光エリプソメーター、接触式段差計 SEM・EDX、接触角計、その他 ※その他の設備によるテストご希望が御座いましたら何なりとお問合せ下さい。
OLED・太陽電池・バイオセンサーなど、多分野研究で均一な膜形成を実現する装置！
『スピンコーター』は、有機薄膜の膜厚均一性と再現性に優れた研究開発向け装置です。 最大10,000RPMの高精度制御と安定した回転機構により、微細な膜厚制御が求められる光電子デバイスやセンサー開発に最適です。 真空ポンプ不要の簡易設計で、装置メンテナンスの負担を大幅軽減。限られた研究スペースでも高品質な成果を実現します。 【特長】 ■膜品質を重視した高精度制御 ■真空ポンプ不要で省メンテナンス ■多様な用途に対応 ■省スペース・コンパクト設計 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-700AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ！
アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0～3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-700AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス！
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ10～15０mm□ 基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約22Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ３００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX９０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
