本装置は、研究開発用途の小型スピンコーターです。
低価格ながら、高性能、高生産性を備えております。 サイズはコンパクトで、重量もわずか18Kgなので、持ち運びも楽です。 マイコン制御により、安定した動作とシンプルなプログラミングが可能です。
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基本情報
ワークサイズ：φ10～φ100mm（max. φ4インチ、□70mm）基板対応 カップサイズ：φ220mm（インナーカップφ217mm） 常用回転数 ：0～7000rpm±1rpm以下(負荷時)、0rpm指令可能 回転ステップ数：10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準） 表示画面 ：蛍光表示管(20文字x4行)レシピ、回転数、時間の表示 材 質 ：ステンレス製 #400標準（テフロンコーティング可） ワーク吸着圧力：-70～-80Kpa、真空ポンプ排気量12L/min以上 制御方法 ：マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単) 装置サイズ ：250W×330D×270H(安全カバー付き280H)、重量約18Kg 電 源 ：1φ 100V-5A(ACサーボモータ200W)50/60Hz オプション：試料台材質（デルリン、テフロン、PEEK、アルミより選択） 真空ポンプ（30S、12Sより選択） 安全カバーセンサー（インタロック機能） カップ内面テフロンコーティング センターリング簡易治具
価格帯
納期
※約1ヶ月
用途／実績例
研究開発用途で小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁への 納品実績多数。
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企業情報
当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。
