生産では自動ディスペンス機能が備わっているセミオートコーターまたはオートコーターを推奨！
「スピンコータ」は、レジストと呼ばれる感光性樹脂材料を 基板(例えばシリコンウェーハ)に均一に塗布するための装置です。 基本的にクリーンルームと呼ばれる清浄且つ温度と湿度が一定に 保たれた空間に設置されます。 場合によっては塗布環境のみを局所的にコントロールする機構を 備える場合もあります。 【均一に塗布するための要素】 ■塗布環境のコントロール ・塗布する環境の温度、および湿度を一定に保つ ■留意すべき事項 ・ウェーハの温度 ・薬液の温度 ・排気流量 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
リソテックジャパンは、創設以来リソグラフィのスペシャリストとして、レジスト露光/現像解析装置、レジストコータ/デベロッパ、リソグラフィシミュレータに加え、最先端リソグラフィプロセス向けに露光/現像材料評価等もご提供しております。 特にレジスト処理装置では、スピンコータ、デベロッパ、ベーク（PEB)装置、膜厚測定等を様々な分野に適応させて、開発用実験装置から生産用全自動システムまでご要望に応じた最適な仕様をご提案しています。 例えば、極薄シリコンウェーハ / 各種化合物半導体 / 石英 / サファイヤ / 圧電基板(SAW)等の各種基板に対しての、ArFレジスト / EBレジスト / 高粘度厚膜レジスト / ポリイミド / 絶縁膜 / ワックス等の塗布装置やアルカリ / 無機/有機等の現像装置をラインナップしています。 その他に、HMDS処理 / 真空減圧ベーク / UV照射 / 高温ベーク処理等各種プロセスユニットを用意しています。
