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ASC-4000

最終更新日:2010年04月28日

アクテス京三株式会社 技術センター
アクテス京三株式会社 技術センター
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ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター)

ACサーボモーター採用。 高剛性の主軸部。 ワークを選ばない回転安定性。

    コーターレジスト装置その他半導体製造装置
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スピンナーASC-4000

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基本情報

小型スピンナーでは突出した高出力ACサーボモーターを主軸回転に採用することにより抜群の回転安定性を誇る。 プログラムは最大99ステップを9パターン保存可能。 〜φ6インチと〜8インチ用をご用意しています。

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用途/実績例

半導体、電子部品メーカ等を中心に使われています。

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ハードウェアー及びソフトウェアーの開発設計から製造、販売まで一貫した生産工程を持ち、特に画像処理技術とモーションコントロール技術を融合した 各種生産設備の開発力は最大の特徴です。

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