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自立スピンコータ - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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自立型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-700AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』はφ500mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0~3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-700AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

  • その他半導体製造装置

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大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応!研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコーター

アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。 対応基板サイズ(カップ径)が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。 対応基板サイズ(カップ径)の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII(カップ径700)でスピンコートできる基板サイズはφ500mm(□360mm)になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。 是非ご相談下さい。 【特長】 ・研究~生産用と幅広く適合 ・10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載 ・非常停止ボタンを標準装備 ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

  • その他半導体製造装置

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自立型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-600AII』

□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-600AII スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

アクティブの『自立型スピンコーターACT-600AII』はφ400mm基板まで対応する汎用性の高い手動滴下用の装置です。 1分間の回転数を0~3000の範囲で設定でき、その精度は±2rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-600AIIのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

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