大型機・自立型スピンコーター
大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコーター
アクティブのスピンコーターは大型基板にも対応可能です。 対応基板サイズ（カップ径）が大きくなると装置サイズも大きく重くなります。卓上にのせると作業高さが使いにくくなるのもあり、自立型として製作しております。自立型はアジャスターを縮めることでキャスターが接地するので移動も楽です。 対応基板サイズ（カップ径）の小さい卓上型スピンコーター同様、インターロックセンサー付き安全カバー、基板吸着圧力のインターロックで安全対策がなされています。 ACT-700AII（カップ径700）でスピンコートできる基板サイズはφ500mm（□360mm）になりますが、これ以上の基板サイズに対応するスピンコーターも製作可能です。例えば□1000mm基板をスピンコートする課題にカップサイズφ1800mmのスピンコーターを製作した実績がございます。 是非ご相談下さい。 【特長】 ・研究～生産用と幅広く適合 ・10ステップ・100パターンプログラムメモリ搭載 ・非常停止ボタンを標準装備 ・さまざまな溶液を用いた開発や評価に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社アクティブ
- 価格：500万円 ~ 1000万円
