Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター
多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。
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基本情報
【装置構成】 ・自動搬送ロボット ・スピンコーター ・スピン洗浄 ・エキシマＵＶ ・ホットプレート ・ローダー／アンローダー
価格帯
納期
用途／実績例
フォトマスク向け自動スピンコーター ＬＣＤ向け自動スピンコーター 半導体デバイス向け自動スピンコーター 有機EL向け自動スピンコーター クラスター型スピンコーター Ｒ＆D向け卓上スピンコーター
企業情報
設計ノウハウ、受託・製造パートナーをもつ""技術商社""ならではの製造装置販売、提案、サービスを提供しています。 お客様のニーズに合わせた最適な選定で、実験・開発を行い実績を積んで参りました。常に新たな革新的技術、応用技術を開発して参ります。 装置販売・受託レンタル事業・消耗部品販売をトータルした付加価値の高い提案を行います。