精密スピンコータ - 企業1社の製品一覧

精密スピンコーター

進行状況をグラフで表示する事のできる機能「グラフィックファンクション」を標準搭載し、高速・高精度に塗膜を形成することができる

特徴 ●小型で安価、ラボ用途に最適 ●回転数の変化をリアルタイム表示「グラフィック・ファンクション」 ●回転数最速8000rpm ●内部構造はユニット化され、メンテナンスが容易 ●100ステップ/プログラムを任意に設定

• 企業：ハイソル株式会社
• 価格：10万円 ~ 50万円

• その他半導体製造装置