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滴下スピンコータ - 企業1社の製品一覧

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精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下! 卓上型スピンコート機ACT-300AIIS スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

『ACT-300A IIS』は、マイクロシリンジポンプを搭載したマイクロリットルレベルの精密自動滴下が可能な卓上スピンコーターです。 最大15系統の液の滴下が可能で、ご要望に応じてエアブロー、エッジリンス・バックリンス等も搭載できます。 1分間の回転数を0~6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 こちらをベースにした特注(オプション追加)も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 まずはご希望の仕様をお聞かせください。 ACT-300AIISのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

  • その他半導体製造装置

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