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精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

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ACT-300AIIS

最終更新日:2022年04月06日

株式会社アクティブ
株式会社アクティブ
  • 公式サイト

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下! 卓上型スピンコート機ACT-300AIIS スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

『ACT-300A IIS』は、マイクロシリンジポンプを搭載したマイクロリットルレベルの精密自動滴下が可能な卓上スピンコーターです。 最大15系統の液の滴下が可能で、ご要望に応じてエアブロー、エッジリンス・バックリンス等も搭載できます。 1分間の回転数を0~6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 こちらをベースにした特注(オプション追加)も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 まずはご希望の仕様をお聞かせください。 ACT-300AIISのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

    その他半導体製造装置
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精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

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  • 関連リンク - https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/automaticdrip…

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基本情報

【特長(一部抜粋)】 ・積層(多層膜)の成膜作成に適した高精度な自動滴下スピンコーター ・シリンジ容量は2.5ml・5ml・10mlより選択可能 【仕様(一部抜粋)】 ■電源:1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz ■制御方法:マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単) スピンコートしたい基板が小型(丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで)の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。(ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です) オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/spincoater-option/

価格帯

100万円 ~ 500万円

納期

詳細はお問い合わせください

※目安3カ月間(要ご相談)

用途/実績例

【用途】 半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産 高速回転仕様や、加熱式、エッジリンス・バックリンス、搬送ロボットとのドッキング(上位からのPLC・シーケンサ制御)に興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/custom/ 回転の遠心力で薄膜を得るよりも、スピンによる枚様式の乾燥や洗浄、エッチングに興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/clean/ コストを抑えた必要十分のベーシック仕様、手動滴下の標準機に興味がある方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/standard/ 実際にスピンコート機が動いている様子を見たい方は下記へアクセス! https://www.youtube.com/channel/UCycim-_Cc57UQuM648PZpEA/videos

詳細情報

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    アクティブのスピンコーターは無償での『デモ機の貸出・サンプルテスト』も行っております。 自動滴下スピンコーターのご用意はございませんが、アクティブ製スピンコーターの使い心地、成膜の感じはお試しいただけるかと思います。 台数に限りがある為すでにお貸出中の場合はお待ちいただきますが、ACT-220AIIとACT-300AIIは常備しておりますのでお気軽にお問い合わせ下さい。 基板をのせる試料台については、お客様に合わせて設計・製作する性質上、ベストなデモ用試料台は持ち合わせておりません。スピンコートしたい基板が吸着できるベターな試料台でのデモ・テストとなります。有償で基板に合わせた試料台を製作することは可能です。 デモ機貸出のご依頼は下記からお申込みいただけます。 https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/loan_request_spincoater/ サンプルテストのご依頼は下記からお申込みいただけます。 https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/sample_test_request_spincoater/

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    弊社アクティブはスピンコーターの設計・製造・販売を行っております。 小型や卓上タイプの場合、それだけ機能が制限されてしまうかと思われがちですが、アクティブの小型スピンコーターは高性能を維持しつつコストを抑えた製品となっております。 AC100Vのため普通のコンセントで使用可能です。 コンパクトサイズで配置場所にも困りません。 特注機の製造にも対応しているため、お客様のご要望にピンポイントで合わせたスピンコーターを販売できます。 回転の遠心力を用いた枚様式の装置について、ご興味やお困り事など御座いましたらスピンコーター製造メーカーのアクティブにお気軽にご相談ください。 弊社アクティブについてもっと知りたい方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/features/

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    アクティブ製のスピンコーターは、1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができる、10ステップ100パターンのプログラム(事前にご連絡いただくことで、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすく、操作パネルがシンプルで簡単です。 プログラム(ステップの考え方とレシピの設定方法)について詳しく知りたい方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/step/ 操作画面について詳しく知りたい方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/display/

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    良く頂くご要望のひとつに「安価なACT-220AIIを自動滴下タイプにしてほしい」があります。 カップサイズをφ220mmで製作することは可能です。 ただ、標準機のACT-220AIIは筐体そのものが小さくカスタマイズ分の電装を収納する余地のない、小型かつ安価であることに特化した機種であるため、特注仕様の加熱タイプとは電子回路基板から異なる全く別の装置となります。同じにできるのはカップのサイズだけです。 カップサイズをφ220mmで製作しても、こちらのページに掲載しているφ300mmで製作しても外形サイズ、コストに差が出ません。 その為、現時点の課題ではφ100mm(□70mm)基板までスピンコートできれば十分であり、スピンコーターのカップサイズがφ220mmで問題なくとも、将来的にスピンコートしたい基板が増える可能性を考慮しカップサイズφ300mmでご依頼いただくケースが多いです。

  • Q&A.jpg

    本腰を入れてスピンコート機を選定し始めると、様々な疑問が発生すると思います。 スピンコーター購入で課題はクリアできるのか、試料台は基板サイズが変わっても使い続けられるのか、アクティブという会社は長くお付き合いするに値するのか・・・ 多くの方々が疑問に思うことを解消したい方は、是非下記へアクセスしてください。よくある質問集となります。 https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/qa/ 上記閲覧しても解決しない問題は直接お問い合わせ下さい。 https://www.acti-ve.co.jp/contact/

ラインアップ(2)

型番 概要
ACT-300AIIS Φ5~Φ150 (Max.Φ6インチ、□110mm) 基板対応
ACT-400AIIS Φ5~Φ200 (Max.Φ8インチ、□150mm) 基板対応

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精密自動滴下スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AIIS』(卓上型) アクティブ製

精密自動滴下スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AIIS』(卓上型) アクティブ製

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卓上型 手動滴下用 スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII』(標準機) アクティブ製

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試料台加熱型スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』(卓上型 手動滴下用) アクティブ製

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この製品に関するニュース(1)

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

〇ページ更新しました〇 精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

  • 製品ニュース

『㎕レベルで制御可能な精密自動滴下! 卓上型スピンコート機ACT-300AIIS』の製品ページを更新し、より分かりやすく、充実いたしましたのでご興味のある方は是非ご一読下さい。 最大15系統の液の滴下が可能で、ご要望に応じてエアブロー、エッジリンス・バックリンス等も搭載できます。 スピンコートについての課題を抱えておりましたら、是非製造メーカーのアクティブへ是非お問い合わせ下さい。

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ACTIVEはスピンコーター製品を主力に、お客様に合わせた特徴のある製品を設計・製作・販売しております。 アクティブのスピンコーター(スピンコート機)は課題に合わせてサイズが選べ、様々なカスタマイズが可能です。 機器を設置する場所がなかったり、ご予算が限られていたり、お悩みは千差万別です。そんな時、アクティブの小型・卓上スピンコーターなら必ずお役に立てます。 小型・卓上サイズであっても10ステップ・100パターン(事前にご連絡いただくことで、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)と多彩な試験設定が可能です。細かく設定することにより意図する動作環境を作り出すことができます。 スピンコーター本体の操作画面には、リアルタイムで回転数やバキューム圧力が表示され、状況を把握しやすいのも特徴です。 また、ご用途に合う試料台を使用することで能率も上がり求める塗膜を得やすくなる為、試料台もお客様ごとにご提案させていただいております。 まずは課題やご要望をお聞かせください。 ヒアリングを元に、お客様にあったスピンコーターをご提案させていただきます。

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