スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク：2 □～5 □基板又はφ２ ～φ５ 基板に適用！
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2 □～5 □基板又はφ２ ～φ５ 基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
