【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特徴】 ○カセットtoカセットの自動スピンコーター ○レジストをコートし、次にベーク工程も自動で実行 ○処理工程はU字型に配置 ○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が可能 ○工程間の搬送は多間接ロボットを採用 ○対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式 ○アンロード：1カセット収納 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。