インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応:15日~1年間以上
【装置仕様】 ・基板サイズ:MAX200mm□基板(対角300mm以内) ・基板の受渡し方法:人手によるセット/リセット ・装置重量:約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径:φ500mm ・カップ材質:SUS+ミガキ#400 ・カップ処理:オプション テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面) ・基板固定方法:真空吸着方式 ・テーブル :オプション※別途サイズ・材質をご相談下さい ・スピンモータ:ACサーボモータ ・回転数 :MAX2000rpm(基板サイズ、厚みによる) ・回転精度 :±2rpm ・回転表示 :タッチパネル上にデジタル表示 ・回転制御 :タッチパネルにて設定
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基本情報
【装置仕様】 ・基板サイズ:MAX200mm□基板(対角300mm以内) ・基板の受渡し方法:人手によるセット/リセット ・装置重量:約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径:φ500mm ・カップ材質:SUS+ミガキ#400 ・カップ処理:オプション テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面) ・基板固定方法:真空吸着方式 ・テーブル :オプション※別途サイズ・材質をご相談下さい ・スピンモータ:ACサーボモータ ・回転数 :MAX2000rpm(基板サイズ、厚みによる) ・回転精度 :±2rpm ・回転表示 :タッチパネル上にデジタル表示 ・回転制御 :タッチパネルにて設定
価格帯
納期
用途/実績例
研究開発向けに多くの実績あり 小型・軽量タイプ 【主要用途】 1.素材・材料開発 2.精密部品 3.医薬品研究用途 4.自動車精密金型部品 5.化粧品 6.電子デバイス・半導体 7.大学・産総研 【装置構成】 1.対応ワークサイズ:MAX200mm□ 2.装置サイズ:W540×D690×H360mm 3.装置重量:約50kg 4.回転数:MAX2000rpm(基板サイズ、厚みによる) 5.カップ径:φ500mm 6.電源:100V単相 15A 真空ポンプ付属
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