スピンコータ - 企業ランキング(全13社)

更新日：2025年04月23日集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
ジャパンクリエイト株式会社	所在地埼玉県事業内容当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。主要取引先	スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型応相談	【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式【仕様】 ○外形寸法：W550×D550×H358 ○モーター：750W　φ3　ACサーボモーター 200V ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ500絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め
		スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型応相談	【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"～φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○ディスペンスアーム2本装備 →自動で塗布可能【仕様】 ○外形寸法：W360×D435×H355mm ○モーター：200W　ACサーボモーター 100V ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○塗布アーム：2本、ステッピングモーター駆動 ○塗布数：耐圧タンクによりN2圧送 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ300絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め
		スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター応相談	【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています ○即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行【仕様】 ○対象ワーク：7"□、φ8"等 ○外形寸法(mm)：W1500×D1500×H1700 ○回転部： →インナーカップ　アルミ、アルマイト処理 →外形φ300　密閉回転式 →スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW →回転数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋： →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム：ステッピングモーター駆動　ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr）
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ジャパンクリエイト株式会社

所在地

埼玉県

事業内容

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

主要取引先

代表製品

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型

概要

【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式【仕様】 ○外形寸法：W550×D550×H358 ○モーター：750W　φ3　ACサーボモーター 200V ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ500絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め

用途/実績例

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

概要

【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"～φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○ディスペンスアーム2本装備 →自動で塗布可能【仕様】 ○外形寸法：W360×D435×H355mm ○モーター：200W　ACサーボモーター 100V ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○塗布アーム：2本、ステッピングモーター駆動 ○塗布数：耐圧タンクによりN2圧送 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ300絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め

用途/実績例

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

概要

【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています ○即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行【仕様】 ○対象ワーク：7"□、φ8"等 ○外形寸法(mm)：W1500×D1500×H1700 ○回転部： →インナーカップ　アルミ、アルマイト処理 →外形φ300　密閉回転式 →スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW →回転数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋： →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム：ステッピングモーター駆動　ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr）

用途/実績例
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所在地

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事業内容

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