スピンコータ - 企業ランキング(全17社)
更新日: 集計期間:2025年11月26日〜2025年12月23日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○カセットtoカセットの自動スピンコーター ○レジストをコートし、次にベーク工程も自動で実行 ○処理工程はU字型に配置 ○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が可能 ○工程間の搬送は多間接ロボットを採用 ○対象ワーク:2"□~5"□基板又は... | |||
| 【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる ○N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク:7"□、φ8"等 ○外形寸法:W1500×D1500×H... | |||
| 【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています ○即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク:7"□、φ8"等 ○外形寸法(m... | |||
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- 代表製品
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター
- 概要
- 【特徴】 ○カセットtoカセットの自動スピンコーター ○レジストをコートし、次にベーク工程も自動で実行 ○処理工程はU字型に配置 ○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が可能 ○工程間の搬送は多間接ロボットを採用 ○対象ワーク:2"□~5"□基板又は...
- 用途/実績例
スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
- 概要
- 【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる ○N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク:7"□、φ8"等 ○外形寸法:W1500×D1500×H...
- 用途/実績例
スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター
- 概要
- 【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています ○即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク:7"□、φ8"等 ○外形寸法(m...
- 用途/実績例
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